Формирование антиотражающих покрытий на основе наноструктурированного алюминия и слоя ксерогеля титаната бария
https://doi.org/10.35596/1729-7648-2024-22-3-14-20
Аннотация
Выполнены исследования по формированию антиотражающих покрытий на основе пористого алюминия, полученного методом электрохимического анодного травления, и нанесенного на его поверхность слоя ксерогеля титаната бария. Толщина пористого алюминия составила от 15 до 100 мкм. Анализ спектров отражения полученных структур показал эффективные антиотражающие свойства сформированных покрытий с коэффициентом зеркального отражения 0,25–2,50 % в диапазоне 200–1100 нм. Применение сформированных покрытий с низким коэффициентом отражения возможно в авиастроении, электронике и энергетике.
Ключевые слова
электрохимическое анодирование,
пористый алюминий,
хлорид натрия,
ксерогель титаната бария,
антиотражающие свойства
При поддержке: Работа выполнена при финансовой поддержке проекта Белорусского республиканского фонда фундаментальных исследований № Х23М-044
Об авторах
С. К. Лазарук
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Лазарук Сергей Константинович, д-р физ.-мат. наук, проф., проф. каф. микро- и наноэлектроники, зав. науч.-исслед. лаб. «Интегрированные микро- и наносистемы»
(НИЛ 4.6) НИЧ
220013, г. Минск, ул. П. Бровки, 6
Тел.: +375 17 293-88-69
Т. Ф. Райченок
Институт физики имени Б. И. Степанова Национальной академии наук Беларуси
Беларусь
Беларусь
канд. физ.-мат. наук, вед. науч. сотр. Центра «Фотоника атомных и молекулярных структур»
Минск
Л. П. Томашевич
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
инж.-электрон. НИЛ 4.6 НИЧ
220013, г. Минск, ул. П. Бровки, 6
Е. И. Лашковская
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
инж. науч.-исслед. лаб. «Нано-фотоника» (НИЛ 4.5) НИЧ
220013, г. Минск, ул. П. Бровки, 6
А. А. Повжик
ОАО «Минский НИИ радиоматериалов»
Беларусь
Беларусь
нач. сектора СП-110
Минск
Н. В. Гапоненко
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
д-р физ.-мат. наук, проф., проф. каф. микро- и наноэлектроники, зав. НИЛ 4.5 НИЧ
220013, г. Минск, ул. П. Бровки, 6
Список литературы
1. Isakov, K. Superhydrophobic Antireflection Coating on Glass Using Grass-Like Alumina and Fluoropolymer / K. Isakov, C. Kauppinen, S. Franssila // ACS Applied Material Interfaces. 2020. Vol. 12, No 44. P. 49957–49962.
2. Soon, H. L. Nanopatterned Polymer Molds Using Anodized Aluminum Templates for Anti-Reflective Coating / H. L. Soon, H. L. Nguen, A. L. Jung // Polymer MDPI. 2021. Vol. 13, No 19. P. 3333–3342.
3. Raid, A. I. Preparation and Characterization of Aluminum Oxide Nanoparticles by Laser Ablation in Liquid as Passivating and Anti-Reflection Coating for Silicon Photodiodes / A. I. Raid, A. Z. Shihab, M. K. Rafal // Appl. Nanoscience. 2017. Vol. 7. P. 477–487.
4. Goldsmith, J. Black Aluminum: A Novel Anti-Reflective Absorbing Coating / J. Goldsmith, V. Vasilyev, J. Vella // United States Air Force Research Laboratory. Wright-Patterson AFB. 2014. P. 69–70.
5. Kumar, R. H. Anti-Reflective Coatings: A Critical, In-Depth Review / R. H. Kumar, A. Ganesh, N. Sreekumaran // Energy and Environmental Science. 2011. Vol. 4. P. 3779–3804.
6. Enhanced Luminescence of Europium in Sol-Gel Derived BaTiO3/SiO2 Multilayer Cavity Structure / N. V. Gaponenko [et al.] // Optical Materials. 2019. Vol. 96.
7. Lazarouk, S. K. High Field Porous Anodization of Aluminium Films with a Photolithographic Mask / S. K. Lazarouk // Physics, Chemistry and Application of Nanostructures. 2013. P. 355–358.
8. Fabrication of Ideally Ordered Nanoporous Alumina Films and Integrated Alumina Nanotubule Arrays by High-Field Anodization / S. Chu [et al.] // Advanced Materials. 2005. Vol. 17. P. 2115–2119.
9. Formation of Alumina Nanotubes and Jet Effect D uring High-Voltage Local Anodization of Aluminum / S. K. Lazarouk [et al.] // Advanced Engineering Materials. 2022. Vol. 24, No 1.
10. Visible Electroluminescence from Al-Porous Silicon Reverse Bias Diodes Formed on the Base of Degenerate n-Type Silicon / S. Lazarouk [et al.] // MRS Online Proceedings Library Archive. 1994. Vol. 358. Р. 659–664.
11. Electroluminescence from Aluminum-Porous Silicon Reverse Bias Schottky Diodes Formed on the Base of Highly Doped n-Type Polysilicon / S. Lazarouk [et al.] // Thin Solid Films. 1996. Vol. 276. P. 296–298.
12. Эффективность лавинных светодиодов на основе пористого кремния / C. K. Лазарук [и др.] // Физика и техника полупроводников. 2005. Т. 39, № 1. С. 136–138.
13. Si-Based Optoelectronic Couple / P. Jaguiro [et al.] // Physica E: Low-Dimensional Systems and Nanostructures. 2009. Vol. 41. P. 1094–1096.
14. Porous Alumina as Lowe Insulator for Multilevel Metallization / S. Lazarouk [et al.] // Microelectronic Engineering. 2000. Vol. 50, No 1–4. P. 321–327.
15. 3D Silicon Photonic Structures Based on Avalanche LED with Interconnections T hrough Optical Interposer / S. K. Lazarouk [et al.] // International Journal of Nanoscience. 2019. Vol. 18, No 3, 4.
16. Электролюминесценция наноструктурированного кремния в матрице анодного оксида алюминия / C. K. Лазарук [и др.] // Физика и техника полупроводников. 2007. Т. 41, № 9. С. 1126–1129.
17. Anodic Nanoporous Titania for Electro-Optical Devices / S. Lazarouk [et al.] // Japanese Journal of Applied Physics. 2007. Vol. 46.
18. Enhancement of Green Terbium-Related Photoluminescence from Highly Doped Microporous Alumina Xerogels in Mesoporous Anodic Alumina / N. V. Gaponenko [et al.] // J. Electrochem. Soc. 2002. Vol. 149.
Рецензия
Для цитирования:
Лазарук С.К., Райченок Т.Ф., Томашевич Л.П., Лашковская Е.И., Повжик А.А., Гапоненко Н.В. Формирование антиотражающих покрытий на основе наноструктурированного алюминия и слоя ксерогеля титаната бария. Доклады БГУИР. 2024;22(3):14-20. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2024-22-3-14-20
For citation:
Lazarouk S.K., Raichenok T.F., Tomashevich L.P., Lashkovskaya E.I., Povzhik A.A., Gaponenko N.V. Formation of Anti-Reflection Coatings Based on Nanostructured Aluminum and Barium Titanate Xerogel Layer. Doklady BGUIR. 2024;22(3):14-20. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2024-22-3-14-20
Просмотров: 63
Послать статью по эл. почте 