Для цитирования:

Емельянов В.В. Пассивация токопроводящей системы интегральных схем слоем нитрида алюминия. Доклады БГУИР. 2023;21(3):12-16. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2023-21-3-12-16

For citation:

Emelyanov V.V. Passivation of a Conductive System of Integrated Circuits with a Layer of Aluminum Nitride. Doklady BGUIR. 2023;21(3):12-16. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2023-21-3-12-16