Для цитирования:

Емельянов В.В. Многослойные системы металлизации субмикронных интегральных схем. Доклады БГУИР. 2022;20(7):36-42. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2022-20-7-36-42

For citation:

Emelyanov V.V. Multilayer Metallization Systems of Submicron Integrated Circuits. Doklady BGUIR. 2022;20(7):36-42. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2022-20-7-36-42