Для цитирования:

Юник А.Д., Шидловский А.Г. Использование лазерной интерферометрии для определения времени окончания плазмохимического травления слоев p-GaN и AlGaN гетероструктуры p-GaN/AlGaN/GaN с двумерным электронным газом. Доклады БГУИР. 2022;20(7):12-19. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2022-20-7-12-19

For citation:

Yunik A.D., Shydlouski A.H. Use of Laser Interferometry to Determine the End Time of the Plasma-Chemical Etching of p-GaN and AlGaN Layers of the p-GaN/AlGaN/GaN Heterostructure with Two-Dimensional Electron Gas. Doklady BGUIR. 2022;20(7):12-19. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2022-20-7-12-19