Для цитирования:

Лобанок М.В., Прокопьев С.Л., Завацкий С.А., Бондаренко В.П., Гайдук П.И. Формирование SiC методом вакуумной карбидизации на пористом кремнии. Доклады БГУИР. 2022;20(6):14-21. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2022-20-6-14-22

For citation:

Labanok M.V., Prakopyeu S.L., Zavatski S.A., Bondarenko V.P., Gaiduk P.I. Formation of SiC by Vacuum Carbidization on Porous Silicon. Doklady BGUIR. 2022;20(6):14-21. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2022-20-6-14-22