Для цитирования:

Ланин В.Л., Фам В.Т., Лаппо А.И. Формирование отверстий в кремниевой подложке 3D-электронного модуля лазерным излучением. Доклады БГУИР. 2021;19(3):58-65. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2021-19-3-58-65

For citation:

Lanin V.L., Pham V.T., Lappo A.I. Through-silicon-via formation of 3D electronic modules by laser radiation. Doklady BGUIR. 2021;19(3):58-65. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2021-19-3-58-65