PRECISION MOTION SYSTEMS FOR EQUIPMENT OF ELECTRONIC TECHNICS MANUFACTURING
Abstract
About the Authors
S. E. KarpovichBelarus
V. V. Jarski
Belarus
I. V. Dainiak
Belarus
References
1. Аваков С.М. Автоматический контроль топологии планарных структур / Под. ред. С.Е. Карповича. Минск, 2007.
2. Достанко А.П., Кундас С.П., Карпович С.Е. и др. Плазменные процессы в производстве изделий электронной техники. - Т.3. - Минск, 2001.
3. Достанко А.П., Карпович С.Е., Жарский В.В., Дайняк И.В. Электрофизические процессы и оборудование в технологии микро- и наноэлектроники. Минск, 2011.
4. Жарский В.В., Карпович С.Е., Дайняк И.В. Привод прямого действия для мотор-колес мобильных систем. - Минск, 2009.
5. Жарский В.В., Карпович С.Е., Дайняк И.В. Системы многокоординатных перемещений и исполнительные механизмы для прецизионного технологического оборудования.Минск, 2013.
6. Жевняк Р.М., Карпович С.Е., Карпук А.А., Сорко С. Численные методы решения задач на ПЭВМ. Часть 1. Минск, 2004.
7. Жевняк Р.М., Карпович С.Е., Карпук А.А., Сорко С. Численные методы решения задач на ПЭВМ. Часть 2. Минск, 2005.
8. Карпович С.Е., Яковлюк А., Чех М. Аналитическая механика и мехатронные системы перемещений. Минск, 2004.
9. Карпович С.Е., Жарский В.В., Дайняк И.В. Имитационное моделирование голономных и мобильных автоматических систем. Минск, 2008.
10. Карпович С.Е., Яковлюк А.И. История механики. «Галерея» ученых мира. Минск, 2001.
11. Карпович С.Е., Достанко А.П., Толочко Н.К. Лазерные технологии формирования и модификации твердотельных структур. Минск, 2002.
12. Карпович С.Е., Жарский В.В., Дайняк И.В., Литвинов Е.А. Моделирование механизмов параллельной кинематики в среде MATLAB/Simulink. Минск, 2013.
13. Карпович С.Е., Чех М., Левковский Е.Н. и др. Основы механики машин и роботов. Минск, 2002.
14. Карпович С.Е., Русецкий А.М., Ляшук Ю.Ф., Матюшков В.Е. Оптимизационное проектирование прецизионных координатных систем и механизмов оборудования производства электронной техники. Минск, 1999.
15. Карпович С.Е., Матюшков В.Е., Аваков С.М. Построение математических моделей автоматизированного проектирования прецизионного оптико-механического оборудования для электронного машиностроения. Минск, 2000.
16. Карпович С.Е., Жарский В.В., Ляшук Ю.Ф., Межинский Ю.С. Прецизионные координатные системы на основе электропривода прямого действия. Минск, 2001.
17. Карпович С.Е., Жарский В.В., Дайняк И.В. Программируемые движения в прецизионных системах перемещений. Минск, 2008.
18. Карпович С.Е., Жарский В.В., Дайняк И.В. Системы перемещений на основе привода прямого действия. Минск, 2008.
19. Карпович С.Е., Русецкий А.М., Ляшук Ю.Ф. Теория построения прецизионных механизмов оборудования производства электронной техники. Минск, 1999.
20. Karpovich S.E., Jakowluk A. Algorythmization of mathematical models for non-holonomic constraints system and non-linear mechanics in the biaxial stress states of solid bodies. Bialystok, 1998.
21. Karpowicz S., Jakowluk A., Lewkowski J. Mechanika teoretyczna i podstawy teorii mechanizmow i robotow / pod red. A. Jakowluka. T. I : Historia mechaniki i kinematyka. Bialystok, 1993.
22. Karpowicz S., Jakowluk A., Lewkowski J. Mechanika teoretyczna i podstawy teorii mechanizmow i robotow / pod red. A. Jakowluka. T. II : Dynamika. Bialystok, 1993.
23. Karpowicz S., Jakowluk A., Lewkowski J. Mechanika teoretyczna i podstawy teorii mechanizmow i robotow / pod red. A. Jakowluka. T. III : Mechanika analityczna. Dynamika maszyn i robotow. Bialystok, 1993.
Review
For citations:
Karpovich S.E., Jarski V.V., Dainiak I.V. PRECISION MOTION SYSTEMS FOR EQUIPMENT OF ELECTRONIC TECHNICS MANUFACTURING. Doklady BGUIR. 2014;(2):60-72. (In Russ.)