Preview

Доклады БГУИР

Расширенный поиск

ЗОЛЬ-ГЕЛЬ СИНТЕЗ ПЛЕНОК ТИТАНАТА СТРОНЦИЯ И ПЕРСПЕКТИВЫ ИХ ПРИМЕНЕНИЯ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ

Полный текст:

Аннотация

Золь-гель методом получены пленки титаната стронция на подложках кремния. Фаза титаната стронция зарегистрирована методом рентгенофазового анализа после термообработки при температуре 750-1000 °С. Толщина пленок, полученных методом центрифугирования, изменяется от 90 до 250 нм в зависимости от числа формируемых слоев. Обсуждаются перспективы развития золь-гель метода для формирования пленочных элементов электронной техники, а также варисторов и конденсаторов, на основе ксерогелей SrTiO3.

Об авторах

А. Х. Сохраби
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


Н. В. Гапоненко
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


М. В. Руденко
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


С. М. Завадский
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


Д. А. Голосов
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


Б. С. Колосницын
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


В. В. Колос
ОАО “Интеграл”
Беларусь


А. Н. Петлицкий
ОАО “Интеграл”
Беларусь


А. С. Турцевич
ОАО “Интеграл”
Беларусь


Список литературы

1. Mechin L., Gerritsma G.J., Garcia Lopez J. // Phys. C. 1999. Vol. 324. P. 47-56.

2. Baba So, Numata Ken, Miyake Shoji. // Sc. Tech. Advanced Materials. 2000. Vol. 1. P. 211-217.

3. Bruce C., Russell and Martin R. Castell. // J. Phys. Chem. C. 2008. Vol. 112. P. 6538-6545.

4. Fukushima K., Shibagaki S. // Thin Solid films. 1998. Vol. 315. P. 238-243.

5. Kaiser A.M., Gray A.X., Conti G. et. al. // Appl. Phys Letters. 2012. Vol. 100. P. 261603.

6. Wontae Chang, Kirchoefer Steven W., Jeffrey M. Pond et. al. // J. Appl. Phys. 2004. Vol. 96. P. 11.

7. Im T. M., Park J.Y., Kim H.J. et. al. // Bull. Korean Chem. Soc. 2008, Vol. 29, № 2.

8. Katsumata Ken ichi, Shichi Tetsuya, Fujishima Akira. // J. Ceramic Soc. Jap. 2010. Vol. 118[1]. P. 43-47.

9. Fuentes S., Zarate R. A. // J. Mater. Sc. 2010. Vol. 45. P. 1448-1452.

10. Hofman W., Hoffmann S., Waster R. // Thin Solid Films 1997 Vol. 305 P. 66-73.

11. Pontes F.M., Leite E.R. // J. of the Europ. Ceram. Soc. 2001 Vol. 21. P. 419-426.

12. Hirose Sakyo, Nakayama Akinori, Niimi Hideaki et. al. // J. Appl. Phys. 2008. Vol. 104. P. 053712.

13. Fernandez-Hevia D., Frutos J. de, et. al. // J. Appl. Phys. 2002. Vol. 92. No. 5. P. 2890-2898.

14. Tang M. H., Wang Z. P., Li J. C. et. al. // Semicond. Sc. Technol. 2011. Vol. 26. P. 075019.

15. Kim T.W., Gaponenko N.V., Stepanovna E.A. et. al. // J. Appl. Spectroscopy. 2009. Vol. 76. P. 833-839.


Для цитирования:


Сохраби А.Х., Гапоненко Н.В., Руденко М.В., Завадский С.М., Голосов Д.А., Колосницын Б.С., Колос В.В., Петлицкий А.Н., Турцевич А.С. ЗОЛЬ-ГЕЛЬ СИНТЕЗ ПЛЕНОК ТИТАНАТА СТРОНЦИЯ И ПЕРСПЕКТИВЫ ИХ ПРИМЕНЕНИЯ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ. Доклады БГУИР. 2013;(8):10-15.

For citation:


Sohrabi A.H., Gaponenko N.V., Rudenko M.V., Zavadski S.M., Golosov D.A., Kolosnitsin B.S., Kolos V.V., Pyatlitski A.N., Turtsevich A.S. SOL-GEL SYNTHESIS OF STRONTIUM TITANATE THIN FILMS AND PERSPECTIVES OF THEIR APPLICATIONS IN PRODUCTION OF ELEMENTS OF ELECTRONIC DEVICE. Doklady BGUIR. 2013;(8):10-15. (In Russ.)

Просмотров: 35


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1729-7648 (Print)
ISSN 2708-0382 (Online)