ЗОЛЬ-ГЕЛЬ СИНТЕЗ ПЛЕНОК ТИТАНАТА СТРОНЦИЯ И ПЕРСПЕКТИВЫ ИХ ПРИМЕНЕНИЯ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
Аннотация
Золь-гель методом получены пленки титаната стронция на подложках кремния. Фаза титаната стронция зарегистрирована методом рентгенофазового анализа после термообработки при температуре 750-1000 °С. Толщина пленок, полученных методом центрифугирования, изменяется от 90 до 250 нм в зависимости от числа формируемых слоев. Обсуждаются перспективы развития золь-гель метода для формирования пленочных элементов электронной техники, а также варисторов и конденсаторов, на основе ксерогелей SrTiO3.
Об авторах
А. Х. Сохраби
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Н. В. Гапоненко
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
М. В. Руденко
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
С. М. Завадский
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Д. А. Голосов
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Б. С. Колосницын
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
В. В. Колос
ОАО “Интеграл”
Беларусь
Беларусь
А. Н. Петлицкий
ОАО “Интеграл”
Беларусь
Беларусь
А. С. Турцевич
ОАО “Интеграл”
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Mechin L., Gerritsma G.J., Garcia Lopez J. // Phys. C. 1999. Vol. 324. P. 47-56.
2. Baba So, Numata Ken, Miyake Shoji. // Sc. Tech. Advanced Materials. 2000. Vol. 1. P. 211-217.
3. Bruce C., Russell and Martin R. Castell. // J. Phys. Chem. C. 2008. Vol. 112. P. 6538-6545.
4. Fukushima K., Shibagaki S. // Thin Solid films. 1998. Vol. 315. P. 238-243.
5. Kaiser A.M., Gray A.X., Conti G. et. al. // Appl. Phys Letters. 2012. Vol. 100. P. 261603.
6. Wontae Chang, Kirchoefer Steven W., Jeffrey M. Pond et. al. // J. Appl. Phys. 2004. Vol. 96. P. 11.
7. Im T. M., Park J.Y., Kim H.J. et. al. // Bull. Korean Chem. Soc. 2008, Vol. 29, № 2.
8. Katsumata Ken ichi, Shichi Tetsuya, Fujishima Akira. // J. Ceramic Soc. Jap. 2010. Vol. 118[1]. P. 43-47.
9. Fuentes S., Zarate R. A. // J. Mater. Sc. 2010. Vol. 45. P. 1448-1452.
10. Hofman W., Hoffmann S., Waster R. // Thin Solid Films 1997 Vol. 305 P. 66-73.
11. Pontes F.M., Leite E.R. // J. of the Europ. Ceram. Soc. 2001 Vol. 21. P. 419-426.
12. Hirose Sakyo, Nakayama Akinori, Niimi Hideaki et. al. // J. Appl. Phys. 2008. Vol. 104. P. 053712.
13. Fernandez-Hevia D., Frutos J. de, et. al. // J. Appl. Phys. 2002. Vol. 92. No. 5. P. 2890-2898.
14. Tang M. H., Wang Z. P., Li J. C. et. al. // Semicond. Sc. Technol. 2011. Vol. 26. P. 075019.
15. Kim T.W., Gaponenko N.V., Stepanovna E.A. et. al. // J. Appl. Spectroscopy. 2009. Vol. 76. P. 833-839.
Рецензия
Для цитирования:
Сохраби А.Х., Гапоненко Н.В., Руденко М.В., Завадский С.М., Голосов Д.А., Колосницын Б.С., Колос В.В., Петлицкий А.Н., Турцевич А.С. ЗОЛЬ-ГЕЛЬ СИНТЕЗ ПЛЕНОК ТИТАНАТА СТРОНЦИЯ И ПЕРСПЕКТИВЫ ИХ ПРИМЕНЕНИЯ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ. Доклады БГУИР. 2013;(8):10-15.
For citation:
Sohrabi A.H., Gaponenko N.V., Rudenko M.V., Zavadski S.M., Golosov D.A., Kolosnitsin B.S., Kolos V.V., Pyatlitski A.N., Turtsevich A.S. SOL-GEL SYNTHESIS OF STRONTIUM TITANATE THIN FILMS AND PERSPECTIVES OF THEIR APPLICATIONS IN PRODUCTION OF ELEMENTS OF ELECTRONIC DEVICE. Doklady BGUIR. 2013;(8):10-15. (In Russ.)
Просмотров: 2520
Послать статью по эл. почте 