TRAJECTORY CONTROL OF COORDINATE SYSTEMS OF SUBMICRON MICROELECTRONICS EQUIPMENT
Abstract
Measuring tools used for the forming of programming motions in the assembly and opto-mechanical equipment of microelectronics were analyzed. The structure of the trajectory control system based on approach of hardware-in-the-loop modeling and real-time verification was proposed. The results of using the proposed trajectory control system in coordinate systems of precision equipment were shown.
About the Authors
I. V. Dainiak
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Belarus
Belarus
V. V. Jarski
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Belarus
Belarus
S. E. Karpovich
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Belarus
Belarus
References
1. Карпович С.Е. Прецизионные координатные системы на основе электропривода прямого действия. Минск, 2001.
2. Карпович С.Е, Жарский В.В., Дайняк И.В. Программируемые движения в прецизионных системах перемещений. Минск, 2008.
3. Sharski V.V., Trusov N.K. Positionssensor für den Anker eines elektromagnetischen Schrittmotors / Offenlegungsschrift DE 101 03 478 A 1 Bundesrepublik Deutschland von 02.08.2001.
4. Jarski V. // SPIE. 2009. Vol. 7377. CID 7377 1A.
5. Ahranovich A., Karpovich S., Zharsky V. // Electronics and Electrical Engineering. 2007. № 5(77). P. 49-52.
Review
For citations:
Dainiak I.V., Jarski V.V., Karpovich S.E. TRAJECTORY CONTROL OF COORDINATE SYSTEMS OF SUBMICRON MICROELECTRONICS EQUIPMENT. Doklady BGUIR. 2013;(4):38-42. (In Russ.)
Views: 297
Email this article 