ТРАЕКТОРНОЕ УПРАВЛЕНИЕ КООРДИНАТНЫМИ СИСТЕМАМИ СУБМИКРОННОГО ОБОРУДОВАНИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
Аннотация
Проанализированы измерительные средства, используемые при формировании программируемых движений в сборочном и оптико-механическом оборудовании микроэлектроники. Предложена структура системы траекторного управления на основе подходов аппаратно-программного моделирования и верификации в режиме реального времени. Приведены результаты использования предложенной системы траекторного управления в координатных системах перемещений прецизионного оборудования.
Об авторах
И. В. Дайняк
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
В. В. Жарский
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
С. Е. Карпович
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Карпович С.Е. Прецизионные координатные системы на основе электропривода прямого действия. Минск, 2001.
2. Карпович С.Е, Жарский В.В., Дайняк И.В. Программируемые движения в прецизионных системах перемещений. Минск, 2008.
3. Sharski V.V., Trusov N.K. Positionssensor für den Anker eines elektromagnetischen Schrittmotors / Offenlegungsschrift DE 101 03 478 A 1 Bundesrepublik Deutschland von 02.08.2001.
4. Jarski V. // SPIE. 2009. Vol. 7377. CID 7377 1A.
5. Ahranovich A., Karpovich S., Zharsky V. // Electronics and Electrical Engineering. 2007. № 5(77). P. 49-52.
Рецензия
Для цитирования:
Дайняк И.В., Жарский В.В., Карпович С.Е. ТРАЕКТОРНОЕ УПРАВЛЕНИЕ КООРДИНАТНЫМИ СИСТЕМАМИ СУБМИКРОННОГО ОБОРУДОВАНИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ. Доклады БГУИР. 2013;(4):38-42.
For citation:
Dainiak I.V., Jarski V.V., Karpovich S.E. TRAJECTORY CONTROL OF COORDINATE SYSTEMS OF SUBMICRON MICROELECTRONICS EQUIPMENT. Doklady BGUIR. 2013;(4):38-42. (In Russ.)
Просмотров: 339
Послать статью по эл. почте 