ТРАЕКТОРНОЕ УПРАВЛЕНИЕ КООРДИНАТНЫМИ СИСТЕМАМИ СУБМИКРОННОГО ОБОРУДОВАНИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
Аннотация
Проанализированы измерительные средства, используемые при формировании программируемых движений в сборочном и оптико-механическом оборудовании микроэлектроники. Предложена структура системы траекторного управления на основе подходов аппаратно-программного моделирования и верификации в режиме реального времени. Приведены результаты использования предложенной системы траекторного управления в координатных системах перемещений прецизионного оборудования.
Для цитирования:
Дайняк И.В., Жарский В.В., Карпович С.Е. ТРАЕКТОРНОЕ УПРАВЛЕНИЕ КООРДИНАТНЫМИ СИСТЕМАМИ СУБМИКРОННОГО ОБОРУДОВАНИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ. Доклады БГУИР. 2013;(4):38-42.
For citation:
Dainiak I.V., Jarski V.V., Karpovich S.E. TRAJECTORY CONTROL OF COORDINATE SYSTEMS OF SUBMICRON MICROELECTRONICS EQUIPMENT. Doklady BGUIR. 2013;(4):38-42. (In Russ.)
Просмотров: 337
Послать статью по эл. почте 