Preview

Доклады БГУИР

Расширенный поиск
Полноэкранный режим

Для цитирования:


Дайняк И.В., Жарский В.В., Карпович С.Е. ТРАЕКТОРНОЕ УПРАВЛЕНИЕ КООРДИНАТНЫМИ СИСТЕМАМИ СУБМИКРОННОГО ОБОРУДОВАНИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ. Доклады БГУИР. 2013;(4):38-42.

For citation:


Dainiak I.V., Jarski V.V., Karpovich S.E. TRAJECTORY CONTROL OF COORDINATE SYSTEMS OF SUBMICRON MICROELECTRONICS EQUIPMENT. Doklady BGUIR. 2013;(4):38-42. (In Russ.)

Просмотров: 19


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1729-7648 (Print)
ISSN 2708-0382 (Online)