Для цитирования:

Дайняк И.В., Жарский В.В., Карпович С.Е. ТРАЕКТОРНОЕ УПРАВЛЕНИЕ КООРДИНАТНЫМИ СИСТЕМАМИ СУБМИКРОННОГО ОБОРУДОВАНИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ. Доклады БГУИР. 2013;(4):38-42.

For citation:

Dainiak I.V., Jarski V.V., Karpovich S.E. TRAJECTORY CONTROL OF COORDINATE SYSTEMS OF SUBMICRON MICROELECTRONICS EQUIPMENT. Doklady BGUIR. 2013;(4):38-42. (In Russ.)