TECHNOLOGICAL TECHNIQUES OF Al-Al2O3 MICROSTRUCTURES FORMATION FOR POWERFUL ELECTROMECHANICAL SYSTEMS
Abstract
Thus, Al-Al2O3 structures characteristic features of which are the considerable height (300 - 450 μm ) of contact pads and conducting lines, the high thickness (150 - 600 μm ) of insulating anodic alumina with high breakdown voltages between the contact pads (up to 8 kV) were made in the present work. Such structures may be used in power electromechanical systems. Methods of the high-speed anodization, of the deep anodization and chemical etching were investigated to provide practically vertical walls in the Al-Al2O3 system.
About the Authors
V. A. Sokol
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Belarus
Belarus
D. L. Shimanovich
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Belarus
Belarus
G. V. Litvinovich
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Belarus
Belarus
References
1. Сокол В.А. Анодные оксиды алюминия. Минск, 2011.
2. Лыньков Л.М., Мухуров Н.И. Микроструктуры на основе анодной алюмооксидной технологии. Минск, 2002.
3. Сокол В.А. // Печатный монтаж. 2010. № 4. С. 18.
4. Сокол В.А., Шиманович Д.Л., Сякерский В.С. // Докл. БГУИР. 2009. № 6(44). С.36.
5. Sokol V., Litvinovich G., Balucani M., et. al. // 12 th international workshop on new approaches to high-tech «NANO-DESIGN, TECHNOLOGY, COMPUTER SIMULATIONS», Minsk, Belarus. 2008. P. 128.
6. Сокол В.А. Электрохимическая технология гибридных интегральных микросхем. Минск, 2004.
7. Лабунов В.А., Тимошков Ю.В., Тимошков В.Ю., и др. // Сб. тез. межд. форума по нанотех. «Rusnanotech 08». М., 2008. Т. 2. С. 45.
8. Тимошков Ю.В., Тимошков В.Ю., Курмашев В.И, и др. // Матер. 19-го межд. симпозиума «Перспективные технологии дисплеев и полупроводниковой техники». Минск, 2011. С. 114.
9. Мухуров Н.И., Ефремов Г.И., Мусский А.С. // Докл. БГУИР. 2007. № 1(17). С. 79.
Review
For citations:
Sokol V.A., Shimanovich D.L., Litvinovich G.V. TECHNOLOGICAL TECHNIQUES OF Al-Al2O3 MICROSTRUCTURES FORMATION FOR POWERFUL ELECTROMECHANICAL SYSTEMS. Doklady BGUIR. 2012;(8):44-49. (In Russ.)
Views: 1394
Email this article 