ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРИЕМЫ ФОРМИРОВАНИЯ Al-Al2O3 МИКРОСТРУКТУР ДЛЯ МОЩНЫХ ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ
Аннотация
В результате проделанной работы получены алюмооксидные структуры Al-Al2O3, особенностью которых является значительная высота алюминиевых контактных площадок и проводящих элементов (300…450 мкм); большая толщина анодного оксида алюминия (150…600 мкм) с высокими пробивными напряжениями между контактными площадками (~8 кВ), которые могут быть использованы в мощных электромеханических системах. Исследованы методы высокоскоростного анодирования, локального глубокого анодирования и химического травления, позволяющие добиться получения практически вертикального профиля стенок в системе Al-Al2O3.
Об авторах
В. А. Сокол
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Д. Л. Шиманович
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Г. В. Литвинович
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Сокол В.А. Анодные оксиды алюминия. Минск, 2011.
2. Лыньков Л.М., Мухуров Н.И. Микроструктуры на основе анодной алюмооксидной технологии. Минск, 2002.
3. Сокол В.А. // Печатный монтаж. 2010. № 4. С. 18.
4. Сокол В.А., Шиманович Д.Л., Сякерский В.С. // Докл. БГУИР. 2009. № 6(44). С.36.
5. Sokol V., Litvinovich G., Balucani M., et. al. // 12 th international workshop on new approaches to high-tech «NANO-DESIGN, TECHNOLOGY, COMPUTER SIMULATIONS», Minsk, Belarus. 2008. P. 128.
6. Сокол В.А. Электрохимическая технология гибридных интегральных микросхем. Минск, 2004.
7. Лабунов В.А., Тимошков Ю.В., Тимошков В.Ю., и др. // Сб. тез. межд. форума по нанотех. «Rusnanotech 08». М., 2008. Т. 2. С. 45.
8. Тимошков Ю.В., Тимошков В.Ю., Курмашев В.И, и др. // Матер. 19-го межд. симпозиума «Перспективные технологии дисплеев и полупроводниковой техники». Минск, 2011. С. 114.
9. Мухуров Н.И., Ефремов Г.И., Мусский А.С. // Докл. БГУИР. 2007. № 1(17). С. 79.
Рецензия
Для цитирования:
Сокол В.А., Шиманович Д.Л., Литвинович Г.В. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРИЕМЫ ФОРМИРОВАНИЯ Al-Al2O3 МИКРОСТРУКТУР ДЛЯ МОЩНЫХ ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ. Доклады БГУИР. 2012;(8):44-49.
For citation:
Sokol V.A., Shimanovich D.L., Litvinovich G.V. TECHNOLOGICAL TECHNIQUES OF Al-Al2O3 MICROSTRUCTURES FORMATION FOR POWERFUL ELECTROMECHANICAL SYSTEMS. Doklady BGUIR. 2012;(8):44-49. (In Russ.)
Просмотров: 1395
Послать статью по эл. почте 