Для цитирования:

Гурбо А.Д., Клименко А.В., Бондаренко В.П. ФОРМИРОВАНИЕ СЛОЕВ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ НА СИЛЬНОЛЕГИРОВАННЫХ МОНОКРИСТАЛЛАХ КРЕМНИЯ ДЫРОЧНОГО ТИПА ПРОВОДИМОСТИ. Доклады БГУИР. 2019;(6):31-37. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2019-124-6-31-37

For citation:

Hurbo A.D., Klimenka A.V., Bondarenko V.P. FORMATION OF POROUS SILICON ON A HIGHLY DOPED P-TYPE MONOCRYSTALLINE SILICON. Doklady BGUIR. 2019;(6):31-37. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2019-124-6-31-37