Для цитирования:

Невлюдов И.Ш., Хрусталев К.Л., Бортникова В.О. ОБОБЩЕННЫЙ МЕТОД АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ПРОЕКТИРОВАНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ АКСЕЛЕРОМЕТРОВ. Доклады БГУИР. 2018;(3):94-99.

For citation:

Nevliudov I.Sh., Khrustalev K.L., Bortnikova V.O. Generalized method of computer-aided design of technological processes for MEMS accelerometers manufacturing. Doklady BGUIR. 2018;(3):94-99. (In Russ.)