ОБОБЩЕННЫЙ МЕТОД АВТОМАТИЗИРОВАННОГО ПРОЕКТИРОВАНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ АКСЕЛЕРОМЕТРОВ

Аннотация

Разработан обобщенный метод автоматизированного проектирования технологических процессов изготовления микроэлектромеханических (МЭМС) акселерометров, который в отличие от существующих основан на двух методах: методе выбора типового технологического процесса и методе поиска аналогов отдельных подсистем и элементов МЭМС акселерометров, что позволит повысить эффективность проектных работ за счет снижения стоимости и времени изготовления. В рамках указанного метода разработана модель принятия решений о выборе типа МЭМС акселерометра по его функционально-конструктивным параметрам, модель поиска аналогов отдельных подсистем и элементов МЭМС акселерометров, а также модель выбора оборудования на основе четырех показателей: производительность, энергоэффективность, стоимость оборудования, срок службы.