Decomposition of silicon and germany monohydrides with use of platinum-rhenium spinel as the catalyst
Abstract
High degree of intensification of monohydrides decomposition process with use of catalysts is shown. It is established that the completeness decomposition of monohydrides in the presenceof platinoreniyevy spinel increases for 35-55 %.
About the Authors
A. A. Kovalevskii
Belarusian state university of informatics and radioelectronics
Belarus
Belarus
A. S. Strogova
Belarusian state university of informatics and radioelectronics
Belarus
Belarus
D. F. Kuzniatsou
Belarusian state university of informatics and radioelectronics
Belarus
Belarus
Y. S. Voronec
Belarusian state university of informatics and radioelectronics
Belarus
Belarus
References
1. Комар О.М., Ковалевский А.А., Строгова А.С. Кремнийгерманиевые наноструктурированные пленки и нанокластеры. LAP LAMBERT Academic Publishing, 2016. 345 с.
2. Колешко В.М. Ковалевский А.А. Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике. Минск: Наука и техника. 1978. 341 с.
3. Баландин А.А. Современное состояние мультиплетной теории гетерогенного катализе. М.: Наука, 1968. 221 с.
4. Комар О.М., Ковалевский А.А., Строгова А.С. Полупроводниковый дисилицид титана: получение, свойства, использование. LAP LAMBERT Academic Publishing, 2015. 214 с.
5. Ковалевский А.А., Борисевич В.М., Долбик А.В. Исследование кинетики процесса осаждения слоев поликристаллического кремния в результате разложения моногидридов при пониженном давлении // Материалы. Технологии. Инструменты. 2007. Т. 12. № 4. С. 65-72.
6. Киреев А.В. Физическая химия. М.: Госхимиздат, 1955. 832 с.
Review
For citations:
Kovalevskii A.A., Strogova A.S., Kuzniatsou D.F., Voronec Y.S. Decomposition of silicon and germany monohydrides with use of platinum-rhenium spinel as the catalyst. Doklady BGUIR. 2018;(2):72-76. (In Russ.)
Views: 322
Email this article 