bsuirДоклады БГУИРDoklady BGUIR1729-76482708-0382БГУИРbsuir-968Research ArticleСтатьиРАЗЛОЖЕНИЕ МОНОГИДРИДОВ КРЕМНИЯ И ГЕРМАНИЯ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ПЛАТИНО-РЕНИЕВОЙ ШПИНЕЛИ В КАЧЕСТВЕ КАТАЛИЗАТОРАDecomposition of silicon and germany monohydrides with use of platinum-rhenium spinel as the catalystКовалевскийА. А.KovalevskiiA. A.noemail@neicon.ruСтроговаА. С.StrogovaA. S.strogova@bsuir.byКузнецовД. Ф.KuzniatsouD. F.noemail@neicon.ruВоронецЯ. С.VoronecY. S.noemail@neicon.ruБелорусский государственный университет информатики и радиоэлектроникиBelarusian state university of informatics and radioelectronics201803062019027276Copyright © Ковалевский А.А., Строгова А.С., Кузнецов Д.Ф., Воронец Я.С., 20192019Ковалевский А.А., Строгова А.С., Кузнецов Д.Ф., Воронец Я.С.Kovalevskii A.A., Strogova A.S., Kuzniatsou D.F., Voronec Y.S.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://doklady.bsuir.by/jour/article/view/968

Показана высокая степень интенсификации процесса разложения моногидридов с использованием катализаторов. Установлено, что полнота при разложении моногидридов в присутствии платинорениевой шпинели возрастает на 35-55%.

High degree of intensification of monohydrides decomposition process with use of catalysts is shown. It is established that the completeness decomposition of monohydrides in the presenceof platinoreniyevy spinel increases for 35-55 %.

моногидридымоносиланкатализаторпленки кремния и германияmonohydridesmonosilanecatalystfilms of silicon and germanyReferencesКомар О.М., Ковалевский А.А., Строгова А.С. Кремнийгерманиевые наноструктурированные пленки и нанокластеры. LAP LAMBERT Academic Publishing, 2016. 345 с.Комар О.М., Ковалевский А.А., Строгова А.С. Кремнийгерманиевые наноструктурированные пленки и нанокластеры. LAP LAMBERT Academic Publishing, 2016. 345 с.Колешко В.М. Ковалевский А.А. Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике. Минск: Наука и техника. 1978. 341 с.Колешко В.М. Ковалевский А.А. Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике. Минск: Наука и техника. 1978. 341 с.Баландин А.А. Современное состояние мультиплетной теории гетерогенного катализе. М.: Наука, 1968. 221 с.Баландин А.А. Современное состояние мультиплетной теории гетерогенного катализе. М.: Наука, 1968. 221 с.Комар О.М., Ковалевский А.А., Строгова А.С. Полупроводниковый дисилицид титана: получение, свойства, использование. LAP LAMBERT Academic Publishing, 2015. 214 с.Комар О.М., Ковалевский А.А., Строгова А.С. Полупроводниковый дисилицид титана: получение, свойства, использование. LAP LAMBERT Academic Publishing, 2015. 214 с.Ковалевский А.А., Борисевич В.М., Долбик А.В. Исследование кинетики процесса осаждения слоев поликристаллического кремния в результате разложения моногидридов при пониженном давлении // Материалы. Технологии. Инструменты. 2007. Т. 12. № 4. С. 65-72.Ковалевский А.А., Борисевич В.М., Долбик А.В. Исследование кинетики процесса осаждения слоев поликристаллического кремния в результате разложения моногидридов при пониженном давлении // Материалы. Технологии. Инструменты. 2007. Т. 12. № 4. С. 65-72.Киреев А.В. Физическая химия. М.: Госхимиздат, 1955. 832 с.Киреев А.В. Физическая химия. М.: Госхимиздат, 1955. 832 с.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.