РАЗЛОЖЕНИЕ МОНОГИДРИДОВ КРЕМНИЯ И ГЕРМАНИЯ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ПЛАТИНО-РЕНИЕВОЙ ШПИНЕЛИ В КАЧЕСТВЕ КАТАЛИЗАТОРА
Аннотация
Показана высокая степень интенсификации процесса разложения моногидридов с использованием катализаторов. Установлено, что полнота при разложении моногидридов в присутствии платинорениевой шпинели возрастает на 35-55%.
Об авторах
А. А. Ковалевский
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
А. С. Строгова
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Д. Ф. Кузнецов
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Я. С. Воронец
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Комар О.М., Ковалевский А.А., Строгова А.С. Кремнийгерманиевые наноструктурированные пленки и нанокластеры. LAP LAMBERT Academic Publishing, 2016. 345 с.
2. Колешко В.М. Ковалевский А.А. Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике. Минск: Наука и техника. 1978. 341 с.
3. Баландин А.А. Современное состояние мультиплетной теории гетерогенного катализе. М.: Наука, 1968. 221 с.
4. Комар О.М., Ковалевский А.А., Строгова А.С. Полупроводниковый дисилицид титана: получение, свойства, использование. LAP LAMBERT Academic Publishing, 2015. 214 с.
5. Ковалевский А.А., Борисевич В.М., Долбик А.В. Исследование кинетики процесса осаждения слоев поликристаллического кремния в результате разложения моногидридов при пониженном давлении // Материалы. Технологии. Инструменты. 2007. Т. 12. № 4. С. 65-72.
6. Киреев А.В. Физическая химия. М.: Госхимиздат, 1955. 832 с.
Рецензия
Для цитирования:
Ковалевский А.А., Строгова А.С., Кузнецов Д.Ф., Воронец Я.С. РАЗЛОЖЕНИЕ МОНОГИДРИДОВ КРЕМНИЯ И ГЕРМАНИЯ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ПЛАТИНО-РЕНИЕВОЙ ШПИНЕЛИ В КАЧЕСТВЕ КАТАЛИЗАТОРА. Доклады БГУИР. 2018;(2):72-76.
For citation:
Kovalevskii A.A., Strogova A.S., Kuzniatsou D.F., Voronec Y.S. Decomposition of silicon and germany monohydrides with use of platinum-rhenium spinel as the catalyst. Doklady BGUIR. 2018;(2):72-76. (In Russ.)
Просмотров: 312
Послать статью по эл. почте 