ЗОЛЬ-ГЕЛЬ СИНТЕЗ И ПЕРСПЕКТИВЫ ПРИМЕНЕНИЯ ПЛЕНОК ТИТАНАТА БАРИЯ
Аннотация
Изложен золь-гель метод формирования пленок титаната бария. Пленки исследовались методами растровой электронной микроскопии, рентгеновской дифракции и эллипсометрии. Установлено, что однослойные пленки ксерогеля титаната бария являются рентгеноаморфными, тогда как многослойные пленки демонстрируют четкие пики брегговской дифракции, соответствующие фазе титаната бария после отжига при температуре 850 °С. Обсуждается возможность применения разработанного золя для тонкопленочных конденсаторных структур на основе титаната бария, а также многослойных интерференционных фильтров оптического диапазона.
Об авторах
П. А. Холов
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
М. В. Руденко
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Н. В. Гапоненко
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Cernea M. Methods for preparation of BaTiO3 thin films // Journal of Optoelectronics and Advanced Materials. 2004. Vol. 6, №. 4. P. 1349-1356.
2. High dielectric constant of SrTiO3 thin films prepared by chemical process / E.J.H. Lee [et. al] // Journal of Mat. Science. 2000. Vol. 19. P. 1457-1459.
3. Sang-Shik Park, Jae-Ho Ha, Haydn N. Preparation of BaTiO3 Films for MLCCs by Direct Vapor Deposition // Integrated Ferroelectrics. 2007. Vol. 95. P. 251-259.
4. Preparation and characterization of SrTiO3/BaTiO3 thin multilayer films deposited on Pt/Ti/SiO2/Si substrate by radio frequency magnetron sputtering / Hong-Hsin Huang [et. al] // Journal of Non-Crystalline Solids. 2005. № 351. P. 3809-3815.
5. Ba0.9Sr0.1TiO3-based optical microcavities fabricated by chemical solution deposition / X.K. Hong [et. al] // Appl. Phys. Lett. 2007. Vol. 90. P. 251911.
6. Синтез пленок титаната стронция золь-гель методом и перспективы их применения в электронной технике / Сохраби Анараки Х. [и др.] // ФТП. 2014. Т. 48(12). С. 140-142.
7. Eu3+ -doped microcavities fabricated by sol-gel process/ J. Bellessa [et. al] // Appl. Phys. Lett. 2001. Vol. 79. P. 2142-2144.
8. Manasa S., Subasri R. Effect of heat treatment on the optical properties of sol-gel-derived, fully dielectric solar control coatings on glass // J. Coat. Technol. Res. 2016. № 13 (4). P. 623-628.
Рецензия
Для цитирования:
Холов П.А., Руденко М.В., Гапоненко Н.В. ЗОЛЬ-ГЕЛЬ СИНТЕЗ И ПЕРСПЕКТИВЫ ПРИМЕНЕНИЯ ПЛЕНОК ТИТАНАТА БАРИЯ. Доклады БГУИР. 2017;(4):32-36.
For citation:
Kholov P.A., Rudenko M.V., Gaponenko N.V. Sol-gel synthesis of barium titanate films and prospectives of their application. Doklady BGUIR. 2017;(4):32-36. (In Russ.)
Просмотров: 3134
Послать статью по эл. почте 