PARAMETERS OPTIMIZATION OF HIGH FREQUENCY ULTRASONIC SYSTEM FOR WIRE BONDING
Abstract
Mathematical equations for resonant frequency and impedance of ultrasonic transducer for wire bonding were proposed. Clamping optimization of bonding tool was determined due to modelling of resonant frequency and impedance for standard and high frequency ultrasonic vibrations in ultrasonic system. It was shown that proposed technique gives good fit to the experimental data.
References
1. Сухов В. // Технологии в электронной промышленности. 2011. №8. С. 50-52.
2. Wedge bonding tools catalog //www.smallprecisiontools.com/products/catalog.
3. Ramsey T.H., Alfaro C. // Solid State Technology. 1991. Vol. 34, P. 37-38.
4. Chylak B., Wei Qin I., Eder J. // Semicon Singapore 2004. P.1-7
5. Силин Л.Л., Баландин Г.Ф., Коган М.Г. Ультразвуковая сварка. М.,1962.
6. Тимошенко С.П. Колебания в инженерном деле. М.,1967.
7. Лепендин Л.Ф. Акустика. М., 1978.
8. Li X., Bilgutay N.M., McBrearty M. et al. // EEE 1985 Ultrasonics symposium. San Francisco. CA, 16-18 Oct. 1985. P. 567-571.
9. Ланин В., Петухов И., Федоров Н. // Технологии в электронной промышленности. 2011. № 6. С. 66-70.
10. Сухов В. // Технологии в электронной промышленности. 2011. №8. С. 50-52.
11. Wedge bonding tools catalog //www.smallprecisiontools.com/products/catalog.
12. Ramsey T.H., Alfaro C. // Solid State Technology. 1991. Vol. 34, P. 37-38.
13. Chylak B., Wei Qin I., Eder J. // Semicon Singapore 2004. P.1-7
14. Силин Л.Л., Баландин Г.Ф., Коган М.Г. Ультразвуковая сварка. М.,1962.
15. Тимошенко С.П. Колебания в инженерном деле. М.,1967.
16. Лепендин Л.Ф. Акустика. М., 1978.
17. Li X., Bilgutay N.M., McBrearty M. et al. // EEE 1985 Ultrasonics symposium. San Francisco. CA, 16-18 Oct. 1985. P. 567-571.
18. Ланин В., Петухов И., Федоров Н. // Технологии в электронной промышленности. 2011. № 6. С. 66-70.
Review
For citations:
Petuhov I.B. PARAMETERS OPTIMIZATION OF HIGH FREQUENCY ULTRASONIC SYSTEM FOR WIRE BONDING. Doklady BGUIR. 2012;(1):33-39. (In Russ.)
Views: 2346
Email this article 