SENSITIVE ELEMENTS FOR CAPACITOR SENSORS OF ACCELERATION
Abstract
In article variants of designs of sensitive elements for capacitor sensors of acceleration in plane-parallel and volumetric structure are offered. By results of the analysis of functional characteristics the range of sensitivity of sensors is established depending on design parameters.
References
1. Strategic Analysis of the Sensors Market in Europe Frost & Sullivan, June 2010. [Электрон. ресурс]. - Электронные данные. - Режим доступа: www.frost.com. Дата домтупа 07.05.2012.
2. Пат. РБ №11976, МПК (2006.01) Н 01H 59/00. Электростатический микроактюатор / Белоус А.И., Емельянов В.А., Мухуров Н.И., Ефремов Г.И., Котова И.Ф.
3. Shen B., Allegretto W., Hu M. and Robinson A // IEEE, Electron Device Letters. 1996, Vol. 17, №7. P. 372-374.
4. Галушков А.И., Панкратов О.В., Погалов А.И // Микро- и наносистемная техника. 2006, № 6. С. 45-48.
5. Патент РБ №7448, МПК (2006.01) НО1Н 59/00. Микродатчик ускорений / Мухуров Н.И., Ефремов Г.И., Куданович О.Н.
6. Белоус А.И., Мухуров Н.И., Дрозд С.Е // Докл. БГУИР. 2010, №4(50). С.42-47.
Review
For citations:
Mukhurov N.I. SENSITIVE ELEMENTS FOR CAPACITOR SENSORS OF ACCELERATION. Doklady BGUIR. 2012;(6):30-35. (In Russ.)
Views: 320
Email this article 