bsuirДоклады БГУИРDoklady BGUIR1729-76482708-0382БГУИРbsuir-82Research ArticleСтатьиЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ДЛЯ ЕМКОСТНЫХ ДАТЧИКОВ УСКОРЕНИЯSENSITIVE ELEMENTS FOR CAPACITOR SENSORS OF ACCELERATIONМухуровН. И.MukhurovN. I.noemail@neicon.ruИнститут физики НАН БеларусиBelarus201203062019063035Copyright © Мухуров Н.И., 20192019Мухуров Н.И.Mukhurov N.I.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://doklady.bsuir.by/jour/article/view/82

В статье предлагаются варианты конструкций чувствительных элементов для емкостных датчиков ускорения в плоскопараллельном и объемном исполнениях. По результатам анализа функциональных характеристик установлен диапазон чувствительности микродатчиков в зависимости от конструктивных параметров.

In article variants of designs of sensitive elements for capacitor sensors of acceleration in plane-parallel and volumetric structure are offered. By results of the analysis of functional characteristics the range of sensitivity of sensors is established depending on design parameters.

емкостной датчик ускорениячувствительный элементплоскопараллельная и объемная конструкциихарактеристикиReferencesStrategic Analysis of the Sensors Market in Europe Frost & Sullivan, June 2010. [Электрон. ресурс]. - Электронные данные. - Режим доступа: www.frost.com. Дата домтупа 07.05.2012.Strategic Analysis of the Sensors Market in Europe Frost & Sullivan, June 2010. [Электрон. ресурс]. - Электронные данные. - Режим доступа: www.frost.com. Дата домтупа 07.05.2012.Пат. РБ №11976, МПК (2006.01) Н 01H 59/00. Электростатический микроактюатор / Белоус А.И., Емельянов В.А., Мухуров Н.И., Ефремов Г.И., Котова И.Ф.Пат. РБ №11976, МПК (2006.01) Н 01H 59/00. Электростатический микроактюатор / Белоус А.И., Емельянов В.А., Мухуров Н.И., Ефремов Г.И., Котова И.Ф.Shen B., Allegretto W., Hu M. and Robinson A // IEEE, Electron Device Letters. 1996, Vol. 17, №7. P. 372-374.Shen B., Allegretto W., Hu M. and Robinson A // IEEE, Electron Device Letters. 1996, Vol. 17, №7. P. 372-374.Галушков А.И., Панкратов О.В., Погалов А.И // Микро- и наносистемная техника. 2006, № 6. С. 45-48.Галушков А.И., Панкратов О.В., Погалов А.И // Микро- и наносистемная техника. 2006, № 6. С. 45-48.Патент РБ №7448, МПК (2006.01) НО1Н 59/00. Микродатчик ускорений / Мухуров Н.И., Ефремов Г.И., Куданович О.Н.Патент РБ №7448, МПК (2006.01) НО1Н 59/00. Микродатчик ускорений / Мухуров Н.И., Ефремов Г.И., Куданович О.Н.Белоус А.И., Мухуров Н.И., Дрозд С.Е // Докл. БГУИР. 2010, №4(50). С.42-47.Белоус А.И., Мухуров Н.И., Дрозд С.Е // Докл. БГУИР. 2010, №4(50). С.42-47.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.