ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ДЛЯ ЕМКОСТНЫХ ДАТЧИКОВ УСКОРЕНИЯ
Аннотация
В статье предлагаются варианты конструкций чувствительных элементов для емкостных датчиков ускорения в плоскопараллельном и объемном исполнениях. По результатам анализа функциональных характеристик установлен диапазон чувствительности микродатчиков в зависимости от конструктивных параметров.
Список литературы
1. Strategic Analysis of the Sensors Market in Europe Frost & Sullivan, June 2010. [Электрон. ресурс]. - Электронные данные. - Режим доступа: www.frost.com. Дата домтупа 07.05.2012.
2. Пат. РБ №11976, МПК (2006.01) Н 01H 59/00. Электростатический микроактюатор / Белоус А.И., Емельянов В.А., Мухуров Н.И., Ефремов Г.И., Котова И.Ф.
3. Shen B., Allegretto W., Hu M. and Robinson A // IEEE, Electron Device Letters. 1996, Vol. 17, №7. P. 372-374.
4. Галушков А.И., Панкратов О.В., Погалов А.И // Микро- и наносистемная техника. 2006, № 6. С. 45-48.
5. Патент РБ №7448, МПК (2006.01) НО1Н 59/00. Микродатчик ускорений / Мухуров Н.И., Ефремов Г.И., Куданович О.Н.
6. Белоус А.И., Мухуров Н.И., Дрозд С.Е // Докл. БГУИР. 2010, №4(50). С.42-47.
Рецензия
Для цитирования:
Мухуров Н.И. ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ДЛЯ ЕМКОСТНЫХ ДАТЧИКОВ УСКОРЕНИЯ. Доклады БГУИР. 2012;(6):30-35.
For citation:
Mukhurov N.I. SENSITIVE ELEMENTS FOR CAPACITOR SENSORS OF ACCELERATION. Doklady BGUIR. 2012;(6):30-35. (In Russ.)
Просмотров: 311
Послать статью по эл. почте 