ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ТРЕХМЕРНЫЙ МАГНИТОМЕТР НА ОСНОВЕ ДАТЧИКОВ ХОЛЛА, ИЗГОТОВЛЕННЫЙ ПО СТАНДАРТНОЙ КМОП-ТЕХНОЛОГИИ
Аннотация
Представлены результаты приборно-технологического моделирования горизонтальных и вертикальных структур датчика Холла, используемых в качестве элемента интегрального трехмерного магнитометра. Исследованы зависимости напряжения Холла от величины и угла отклонения вектора индукции магнитного поля, а также зависимости чувствительности от температуры. Проведено моделирование из первых принципов соединения халькогенидной шпинели CuCr2Se4, применяемого в качестве материала концентратора магнитного поля.
Об авторах
Д. ХА. Дао
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
В. С. Волчёк
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
М. С. Баранова
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
И. Ю. Ловшенко
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Д. Ч. Гвоздовский
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
В. Р. Стемпицкий
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Method and apparatus to estimate location and orientation of objects during magnetic resonance imaging : pat. US6516213, USA / E. Nevo ; publ. date: 04.02.2003.
2. Scheffler K., Korvink J.G. // Proc. of the ISMRM. 2004. P. 950.
3. Van der Meer J. // Proc. of the 6th IEEE Conference on Sensors. 2007. P. 563-564.
4. Бараночников М.Л. Микромагнитоэлектроника. Т. 1. М., 2001.
5. Victory Process User’s Manual User’s Manual. Device simulation software. [Электронный ресурс]. - Режим доступа: victoryprocess_users.pdf. - Дата доступа: 30.10.2015.
6. Bettinger J.S., Chopdekar R.V., Liberati M. // J. Mag. and Mag. Mat. 2007. Vol. 18. P. 65-73.
Рецензия
Для цитирования:
Дао Д.Х., Волчёк В.С., Баранова М.С., Ловшенко И.Ю., Гвоздовский Д.Ч., Стемпицкий В.Р. ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ТРЕХМЕРНЫЙ МАГНИТОМЕТР НА ОСНОВЕ ДАТЧИКОВ ХОЛЛА, ИЗГОТОВЛЕННЫЙ ПО СТАНДАРТНОЙ КМОП-ТЕХНОЛОГИИ. Доклады БГУИР. 2016;(7):167-171.
For citation:
Dao D.H., Volchek V.S., Baranava M.S., Lovshenko I.Yu., Hvazdouski D.C., Stempitsky V.R. THREE-DIMENSIONAL MAGNETOMETER BASED ON HALL SENSORS INTEGRATED IN STANDARD CMOS TECHNOLOGY. Doklady BGUIR. 2016;(7):167-171. (In Russ.)
Просмотров: 2496
Послать статью по эл. почте 