bsuirДоклады БГУИРDoklady BGUIR1729-76482708-0382БГУИРbsuir-752Research ArticleСтатьиИНТЕГРАЛЬНЫЙ ТРЕХМЕРНЫЙ МАГНИТОМЕТР НА ОСНОВЕ ДАТЧИКОВ ХОЛЛА, ИЗГОТОВЛЕННЫЙ ПО СТАНДАРТНОЙ КМОП-ТЕХНОЛОГИИTHREE-DIMENSIONAL MAGNETOMETER BASED ON HALL SENSORS INTEGRATED IN STANDARD CMOS TECHNOLOGYДаоД. ХА.DaoD. HA.noemail@neicon.ruВолчёкВ. С.VolchekV. S.noemail@neicon.ruБарановаМ. С.BaranavaM. S.noemail@neicon.ruЛовшенкоИ. Ю.LovshenkoI. Yu.noemail@neicon.ruГвоздовскийД. Ч.HvazdouskiD. C.noemail@neicon.ruСтемпицкийВ. Р.StempitskyV. R.noemail@neicon.ruБелорусский государственный университет информатики и радиоэлектроникиBelarus20160306201907167171Copyright © Дао Д.Х., Волчёк В.С., Баранова М.С., Ловшенко И.Ю., Гвоздовский Д.Ч., Стемпицкий В.Р., 20192019Дао Д.Х., Волчёк В.С., Баранова М.С., Ловшенко И.Ю., Гвоздовский Д.Ч., Стемпицкий В.Р.Dao D.H., Volchek V.S., Baranava M.S., Lovshenko I.Y., Hvazdouski D.C., Stempitsky V.R.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://doklady.bsuir.by/jour/article/view/752

Представлены результаты приборно-технологического моделирования горизонтальных и вертикальных структур датчика Холла, используемых в качестве элемента интегрального трехмерного магнитометра. Исследованы зависимости напряжения Холла от величины и угла отклонения вектора индукции магнитного поля, а также зависимости чувствительности от температуры. Проведено моделирование из первых принципов соединения халькогенидной шпинели CuCr2Se4, применяемого в качестве материала концентратора магнитного поля.

The results of the device simulation of a three-dimensional magnetometer based on Hall sensors integrated in a standard CMOS technology are presented. The Hall voltage vs magnetic field, Hall voltage vs magnetic field deviation angle, and sensitivity vs temperature curves were measured. The first-principles simulation of chalcogenide spinel CuCr2Se4 used in creation of a magnetic field concentrator was performed.

магнитно-резонансная томографиядатчик Холлакомпьютерное моделированиеконцентратор магнитного поляmagnetic resonance imaginga Hall sensorcomputer simulationhub of the magnetic fieldReferencesMethod and apparatus to estimate location and orientation of objects during magnetic resonance imaging : pat. US6516213, USA / E. Nevo ; publ. date: 04.02.2003.Method and apparatus to estimate location and orientation of objects during magnetic resonance imaging : pat. US6516213, USA / E. Nevo ; publ. date: 04.02.2003.Scheffler K., Korvink J.G. // Proc. of the ISMRM. 2004. P. 950.Scheffler K., Korvink J.G. // Proc. of the ISMRM. 2004. P. 950.Van der Meer J. // Proc. of the 6th IEEE Conference on Sensors. 2007. P. 563-564.Van der Meer J. // Proc. of the 6th IEEE Conference on Sensors. 2007. P. 563-564.Бараночников М.Л. Микромагнитоэлектроника. Т. 1. М., 2001.Бараночников М.Л. Микромагнитоэлектроника. Т. 1. М., 2001.Victory Process User’s Manual User’s Manual. Device simulation software. [Электронный ресурс]. - Режим доступа: victoryprocess_users.pdf. - Дата доступа: 30.10.2015.Victory Process User’s Manual User’s Manual. Device simulation software. [Электронный ресурс]. - Режим доступа: victoryprocess_users.pdf. - Дата доступа: 30.10.2015.Bettinger J.S., Chopdekar R.V., Liberati M. // J. Mag. and Mag. Mat. 2007. Vol. 18. P. 65-73.Bettinger J.S., Chopdekar R.V., Liberati M. // J. Mag. and Mag. Mat. 2007. Vol. 18. P. 65-73.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.