Preview

Доклады БГУИР

Расширенный поиск

ЯВЛЕНИЕ СЕГРЕГАЦИИ ПРИМЕСНЫХ АТОМОВ В ОБЛАСТИ ЗАЛЕГАНИЯ p-n-ПЕРЕХОДА

Полный текст:

Аннотация

В рамках микроскопического механизма диффузии посредством образования, миграции и распада пар «атом примеси-собственный точечный дефект» проведено исследование явления сегрегации примеси в области p-n- перехода с учетом неоднородного распределения дефектов, ответственных за перенос примесных атомов.

Об авторе

О. И. Величко
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


Список литературы

1. Величко О.И. // Матер. VII Всесоюзн. конф. Часть 2. Минск, 1984. С. 180-181.

2. Faney P., Dutton R.W., Hu S.M. // Appl. Phys. Lett. 1984. Vol. 44, № 8. P. 777-779.

3. Fair R.B. // Silicon integrated circuits / Ed. Kahng Dawon. New York. Acad.Press, 1981. Pt.B. P. 1-56.

4. Pichler P. // Computational Microelectronics / Ed. S. Selberherr. Wien, New York, 2004.

5. Bonar J.M., Willoughby A.F.W., Dan A.H. et al. // J. Mat. Sci.: Materials in Electronics. 2001. Vol.12. P. 219-221.

6. Servidori M., Angelucci R., Cemballi F. et al. // J. Appl. Phys. 1987. Vol. 61, № 5. P. 1834-1840.

7. Mannino G., Solmi S., Privitera V. et. al. // Appl. Phys. Lett. 2001. Vol. 79, № 23. P. 3764-3766.

8. Crosby R.T., Jones K.S., Law M.E. et al. // Mat. Sci. Semicond. Process. 2007. Vol. 10. P. 1-5.

9. Shao L., Thompson P.E., van der Heide P.A.W. et al. // J. Vac. Sci. Technol. B. 2004. Vol. 22 (1). P. 302-305.

10. Encyclopedia of Materials: Science and Technology / Ed. Buschow K.H.J., Cahn R.W., Flemings M.C. et al. Elsevier Science Ltd., 2001.

11. Willoughby A.F.W. // J. Phys. D.: Appl. Phys. 1977. Vol. 10. № 4. P. 455-480.

12. Hu S.M., Shmidt S. // J. Appl. Phys. 1968. Vol. 39. № 9. P. 4272-4283.

13. Fair R.B. // J. Appl. Phys. 1973. Vol. 44. № 1. P. 283-291.

14. Lamrani Y., Cristiano F., Colombeau B. et al. // Nuclear Instrum. and Meth. in Phys. Res. B. 2004. Vol. 216. P. 281-285.


Для цитирования:


Величко О.И. ЯВЛЕНИЕ СЕГРЕГАЦИИ ПРИМЕСНЫХ АТОМОВ В ОБЛАСТИ ЗАЛЕГАНИЯ p-n-ПЕРЕХОДА. Доклады БГУИР. 2016;(6):30-34.

For citation:


Velichko O.I. THE PHENOMENON OF IMPURITY SEGREGATION IN THE VICINITY OF P-N-JUNCTION. Doklady BGUIR. 2016;(6):30-34. (In Russ.)

Просмотров: 27


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1729-7648 (Print)
ISSN 2708-0382 (Online)