Для цитирования:
Телеш Е.В., Достанко А.П., Вашуров А.Ю. ОПТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ТОНКИХ ПЛЕНОК ДИОКСИДА КРЕМНИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ ПРЯМЫМ ОСАЖДЕНИЕМ ИЗ ИОННЫХ ПУЧКОВ. Доклады БГУИР. 2015;(8):81-85.
For citation:
Telesh E.V., Dostanko A.P., Vashurov A.Y. OPTICAL PERFORMANCES OF SILICON DIOXIDE THIN FILMS RECEIVED BY DIRECT DEPOSITION FROM ION BEAMS. Doklady BGUIR. 2015;(8):81-85. (In Russ.)