Многослойные элементы памяти Al-Al2Te3-SnTe-TeO2-SnTe-Me
https://doi.org/10.35596/1729-7648-2026-24-4-47-53
Аннотация
В статье представлено исследование физических процессов на границе раздела в тонкопленочных структурах на основе двух- и трехкомпонентных халькогенидов, определяющих механизмы фазовых переходов и памяти. Предложена альтернативная концепция резистивного порогового переключения на границах раздела двух- и трехкомпонентных халькогенидных полупроводниковых материалов с формированием метастабильных дихалькогенидных соединений. Рассмотрены методы структурной стабилизации таких соединений.
Об авторах
Е. Ф. ТроянБеларусь
Троян Евгений Федорович, канд. техн. наук, доц. каф. микрои наноэлектроники
220013, Минск, ул. П. Бровки, 6
Тел.: +375 29 757-78-01
А. Г. Смирнов
Беларусь
Смирнов А. Г., д-р техн. наук, Почет. проф., зав. лаб. «Устройства обработки и отображения информации»
220013, Минск, ул. П. Бровки, 6
А. А. Степанов
Беларусь
Степанов А. А., канд. техн. наук, доц. каф. микрои наноэлектроники
220013, Минск, ул. П. Бровки, 6
С. Ю. Харьков
Беларусь
Харьков С. Ю., асп. каф. микро- и наноэлектроики
220013, Минск, ул. П. Бровки, 6
Е. Ю. Королева
Россия
Королева Е. Ю., канд. физ.-мат. наук, ст. н. с.
Санкт-Петербург
А. В. Филимонов
Россия
Филимонов А. В., д-р физ.-мат. наук, проф.
Санкт-Петербург
Список литературы
1. Колобов, А. В. Халькогенидные стеклообразные полупроводники в устройствах памяти и обработки информации / А. В. Колобов, П. И. Лазаренко // Физика и техника полупроводников. 2025. Т. 59, вып. 9. С. 511–539.
2. Troyan, E. Change of GeTe/Sb2Te3 Thin-Film Memory Elements Resistance RON Under External Pressure / E. Troyan, A. Doronin // Comprehensible Science. 2021. 427–433.
3. Nanoscale Electrolytic Switching in Phase-Change Chalcogenide Films / R. Pandian [et al.] // Advanced Materials. 2007. Vol. 19, No 24. P. 4431–4437. DOI: 10.1002/adma.200700904.
4. Колосницын, Б. С. Эффекты переключения и памяти в тонкопленочных неупорядоченных халькогенидных полупроводниках / Б. С. Колосницын, Е. Ф. Троян // Доклады БГУИР. 2017. № 2. С. 25–30.
5. Процессы памяти и переключения в тонкопленочных структурах на основе двух- и трехкомпонентных халькогенидов / Е. Ф. Троян [и др.] // Известия Кабардино-Балкарского государственного университета. 2024. Т. XIV, № 3. С. 11–14.
6. Pat. US 9,865,811, Jan. 9, 2018; Pat. RF 2618959, 2017; Pat. EP 3151294, 2019 / E. F. Troyan.
7. Aluminum-Centered Tetrahedron-Octahedron Transition in Advancing Al-Sb-Te Phase Change Properties / Xia Mengjiao [et al.] // Scientific Reports. 2015. Vol. 5, No 1.
8. Pumlianmunga, R. K. Electrical Switching, Local Structure and Thermal Crystallization in Al-Te Glasses / R. K. Pumlianmunga // Materials Research Bulletin. 2017. Vol. 86. Р. 88–94.
9. Emerging Two-Dimensional Tellurides / S. Siddique [et al.] // Materials Today. 2021. Р. 1–23.
10. Cтруктура ближнего порядка и антиструктурные дефекты олова в пленках аморфного и кристаллического Ge2Sb2Te5 / А. В. Марченко [и др.] // Физика и техника полупроводников. 2021. Т. 55, вып. 1. С. 3–8.
11. Growth of Textured Chalcogenide Thin Films and Their Functionalization Through Confinement / Р. Kerres [et al.] // Physica Status Solidi, A. 2024. Vol. 221, Is. 22. DOI: 10.1002/pssa.202300921.
12. Chirality in Transition Metal Dichalcogenide Nanostructures / L. Branzi [et al.] // Chemistry: A European Journal. 2025. Vol. 31, Iss. 35. Р. 1–27.
13. Xue, L. Ferroelectric Properties of Van der Waals Chalcogenides: A Density Functional Theory Perspective / L. Xue, G. J. McHugh, V. I. Fal’ko // Academia Nano: Science, Materials, Technology. 2025. Vol. 2. Р. 1–9.
14. Dielectric Relaxation in Amorphous and Crystalline Sb2Te3 Thin Films / А. А. Kononov [et al.] // Journal of Materials Science: Materials in Electronics. 2021. Vol. 32. Р. 14072–14078.
Рецензия
Для цитирования:
Троян Е.Ф., Смирнов А.Г., Степанов А.А., Харьков С.Ю., Королева Е.Ю., Филимонов А.В. Многослойные элементы памяти Al-Al2Te3-SnTe-TeO2-SnTe-Me. Доклады БГУИР. 2026;24(4):47-53. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2026-24-4-47-53
For citation:
Troyan Ye., Smirnov A., Stepanov A., Kharkov S., Koroleva E., Filimonov A. Multilayer Memory Elements Al-Al<2>текстTe3-SnTe-TeO2-SnTe-Me. Doklady BGUIR. 2026;24(4):47-53. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2026-24-4-47-53
JATS XML























