Лазерно-активированные фотохимические процессы формирования тонкопленочных систем микроэлектроники
https://doi.org/10.35596/1729-7648-2025-23-5-20-26
Аннотация
Представлены результаты исследования лазерно-активированных процессов электрохимического осаждения функциональных тонкопленочных субмикронных токопроводящих структур с использованием цианистых электролитов. Исследовано воздействие на цианистые электролиты лазерного излучения с длинами волн λ = 600–200 нм, которое приводит к активной диссоциации соединений видов KiMe(CN)j, Mei(CN)j, KiMei(CN)j. Это способствует локальному росту градиента концентрации активных электрохимических частиц и обуславливает увеличение локальной скорости электрохимического осаждения в целом. Проанализировано влияние на указанные процессы таких параметров, как интенсивность лазерного излучения, коэффициент поглощения лазерного излучения электролитом (эффективное сечение поглощения) и квантовый выход диссоциации, которые определяются составом электролита и селективностью лазерного воздействия.
Об авторе
А. Н. Купо
Гомельский государственный университет имени Франциска Скорины
Беларусь
Беларусь
Купо Александр Николаевич, канд. техн. наук, доц., нач. центра информационных технологий,
246019, Гомель, ул. Советская, 102, корп. 5.
Тел.: +375 29 630-32-62.
Список литературы
1. Купо, А. Н. Лазерная технология интенсификации гальванического осаждения функциональных покрытий / А. Н. Купо, А. А. Хмыль, В. Л. Ланин // Технологии в электронной промышленности. 2016. № 8. С. 42–46.
2. Photochemistry (Definition of Terms) [Electronic Resource] // Chemical Engineering Matters. Mode of access: https://chemicalengineeringmatters.wordpress.com/2014/12/17/photochemistry-definition-ofterms/. Date of access: 26.08.2025.
3. Upadhyay, Sh. Photochemical Reaction and Applications in Organic Synthesis / Sh. Upadhyay, J. Kumar // ICBC. 2021. Vol. 1, No 4. DOI: 10.33552/ICBC.2021.01.000520.
4. Купо, А. Н. Фотохимический механизм стимуляции процесса электрохимической обработки материалов / А. Н. Купо // Известия Гомельского государственного университета имени Ф. Скорины. 2009. № 4. С. 123–131.
5. Solve Nonstiff Differential Equations – Medium Order Method [Electronic Resource] // MATLAB Help Center. Mode of access: https://www.mathworks.com/help/matlab/ref/ode45.html. Date of access: 20.08.2025.
Рецензия
Для цитирования:
Купо А.Н. Лазерно-активированные фотохимические процессы формирования тонкопленочных систем микроэлектроники. Доклады БГУИР. 2025;23(5):20-26. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2025-23-5-20-26
For citation:
Kupo A.N. Laser-Activated Photochemical Processes of Formation of Thin-Film Systems of Microelectronics. Doklady BGUIR. 2025;23(5):20-26. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2025-23-5-20-26
Просмотров:
42
Послать статью по эл. почте 