Для цитирования:

Голосов Д.А., Джанг Д., Завадский С.М., Мельников С.Н., Доан Х.Т., Александрович П.А. Влияние легирования цирконием на диэлектрические свойства пленок оксида гафния. Доклады БГУИР. 2025;23(2):12-19. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2025-23-2-12-19

For citation:

Golosov D.A., Zhang J., Zavadski S.M., Melnikov S.N., Doan H.T., Alexandrovitch P.A. Doping on the Dielectric Properties of Hafnium Oxide Films. Doklady BGUIR. 2025;23(2):12-19. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2025-23-2-12-19