Выбор траектории движения лазерного луча для формирования переходных отверстий в кремниевой подложке
https://doi.org/10.35596/1729-7648-2024-22-6-38-44
Аннотация
Среди перспективных технологических направлений реализации многокристальных модулей является сборка 3D-модулей. Особенность данной технологии – расположение компонентов сборки не только в горизонтальной плоскости, но и по вертикали. Формирование контактных соединений между компонентами 3D-модуля может осуществляться с помощью проволочного монтажа, а также по технологии поверхностного монтажа. Для реализации последнего необходимо формирование переходных отверстий в кремниевой пластине. При создании переходных отверстий между слоями многокристального модуля используется фокусированная энергия лазерного луча. Поскольку диаметр отверстий может быть больше диаметра лазерного луча, необходимо перемещать луч по заданной траектории. Для выбора траектории перемещения сфокусированного лазерного луча осуществлено моделирование визуализаций движения лазера при формировании отверстия для скоростей 0,5 и 5,0 мм/с. Моделирование выполнялось в COMSOL Multiphysics 5.6, что позволило получить распределение тепловых полей при лазерной прошивке отверстий в кремниевой подложке.
Ключевые слова
моделирование,
траектория,
нагрев,
лазерный луч,
тепловые поля,
переходное отверстие,
кремниевая пластина,
3D-модуль
Об авторе
А. И. Лаппо
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Лаппо Александр Игоревич, ст. преп. каф. информационных технологий автоматизированных систем
220013, г. Минск, ул. П. Бровки, 6
Тел.: +375 17 293-88-23
Список литературы
1. Мухина, Е. 3D-сборка: технология сквозных отверстий в кремнии / Е. Мухина, П. Башта // Электроника: наука, технология, бизнес. 2009. № 2. С. 92–93.
2. ULPN-355-10-1-10-M – IPG Photonics Corporation [Электронный ресурс]. Режим доступа: https://pdf.directindustry.com/pdf/ipg-photonics-corporation/ulpn-355-10-1-10-m/29249-947816.html. Дата доступа: 29.05.2024.
3. Вейко, В. П. Взаимодействие лазерного излучения с веществом / В. П. Вейко, М. Н. Либензон, Г. Г. Червяков. М.: Физматлит, 2008.
4. Ланин, В. Л. Формирование отверстий в кремниевой подложке 3D-электронного модуля лазерным излучением / В. Л. Ланин, В. Т. Фам, А. И. Лаппо // Доклады БГУИР. 2021. Т. 19, № 3. С. 58–65. http://dx.doi.org/10.35596/1729-7648-2021-19-3-58-65.
5. Григорьянц, А. Г. Технологические процессы лазерной обработки / А. Г. Григорьянц, И. И. Жиганов, А. И. Мискоров. М.: Изд-во Моск. гос. технич. ун-та им. И. Э. Баумана, 2006.
Рецензия
Для цитирования:
Лаппо А.И. Выбор траектории движения лазерного луча для формирования переходных отверстий в кремниевой подложке. Доклады БГУИР. 2024;22(6):38-44. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2024-22-6-38-44
For citation:
Lapo A.I. Selecting the Trajectory of the Laser Beam to Form Vias in the Silicon Substrate. Doklady BGUIR. 2024;22(6):38-44. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2024-22-6-38-44
Просмотров:
243
Послать статью по эл. почте 