Preview

Доклады БГУИР

Расширенный поиск

Выбор траектории движения лазерного луча для формирования переходных отверстий в кремниевой подложке

https://doi.org/10.35596/1729-7648-2024-22-6-38-44

Полный текст:

Аннотация

Среди перспективных технологических направлений реализации многокристальных модулей является сборка 3D-модулей. Особенность данной технологии – расположение компонентов сборки не только в горизонтальной плоскости, но и по вертикали. Формирование контактных соединений между компонентами 3D-модуля может осуществляться с помощью проволочного монтажа, а также по технологии поверхностного монтажа. Для реализации последнего необходимо формирование переходных отверстий в кремниевой пластине. При создании переходных отверстий между слоями многокристального модуля используется фокусированная энергия лазерного луча. Поскольку диаметр отверстий может быть больше диаметра лазерного луча, необходимо перемещать луч по заданной траектории. Для выбора траектории перемещения сфокусированного лазерного луча осуществлено моделирование визуализаций движения лазера при формировании отверстия для скоростей 0,5 и 5,0 мм/с. Моделирование выполнялось в COMSOL Multiphysics 5.6, что позволило получить распределение тепловых полей при лазерной прошивке отверстий в кремниевой подложке.

Для цитирования:


Лаппо А.И. Выбор траектории движения лазерного луча для формирования переходных отверстий в кремниевой подложке. Доклады БГУИР. 2024;22(6):38-44. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2024-22-6-38-44

For citation:


Lapo A.I. Selecting the Trajectory of the Laser Beam to Form Vias in the Silicon Substrate. Doklady BGUIR. 2024;22(6):38-44. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2024-22-6-38-44

Просмотров: 248


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1729-7648 (Print)
ISSN 2708-0382 (Online)