Формирование пленок сплавов систем Cr–Ni, Cr–Ni–Si и Fe–Ni методами сублимации и испарения для изделий электронной техники
https://doi.org/10.35596/1729-7648-2023-21-5-5-12
Аннотация
Рассмотрены процессы формирования пленок сплавов систем Cr–Ni, Cr–Ni–Si и Fe–Ni стабильного элементного состава методами испарения. Показано, что из-за большой разницы в температурах плавления Ni и Cr пленки нихрома получают методом сублимации. Предложена конструкция испарителя, позволяющая стабилизировать состав пленок. Проведены расчеты азеотропных составов сплавов системы Cr–Ni–Si. Определено положение изобар суммарного давления железа и никеля на диаграмме состояния, при испарении в вакууме. Рассчитан и экспериментально проверен азеотропный состав сплава системы Fe–Ni.
Об авторах
В. А. Зеленин
Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси
Беларусь
Беларусь
д. т. н., доцент, г. н. с.
г. Минск
Е. О. Нарушко
ОАО «Пеленг»
Беларусь
Беларусь
Нарушко Елена Олеговна, к. т. н., инженер-технолог
220114, г. Минск, ул. Академика Высоцкого, 3–26
Тел.: +375 29 345-86-72
А. Д. Гладинов
ОАО «Оптрон» НАН Беларуси
Беларусь
Беларусь
м. н. с.
г. Минск
Список литературы
1. Зеленин, В. А. Силицидные сплавы азеотропных и эвтектических составов для катодов и мишеней вакуумно-дуговых и магнетронных установок / В. А. Зеленин // Современные методы и технологии создания и обработки материалов: сб. науч. тр. В 2 кн. Минск: Физ.-техн. ин-т НАН Беларуси, 2021. Кн. 1. Новые технологии и материалы. С. 208–223.
2. Волочко, А. Т. Многослойные покрытия на элементах компьютера как средство технической защиты информации / А. Т. Волочко, В. А. Зеленин, Е. О. Нарушко // Проблемы информационной безопасности: II Междунар. науч.-практ конф., г. Симферополь, 25–27 февр. 2016 г. Симферополь, 2016. С. 16–19.
3. Зеленин, В. А. Получение многокомпонентных покрытий стабильного состава для экранов электромагнитного излучения / В. А. Зеленин, Е. О. Нарушко, А. Д. Гладинов // Доклады БГУИР. 2023. Т. 21, № 4. С. 19–27. http://dx.doi.org/10.35596/1729-7648-2023-21-4-19-27.
4. Технология тонких пленок: справочник. В 2 т. / Пер. с англ. под ред. М. И. Елинсона, Г. Г. Смолко. М.: Советское радио, 1977. Т. 1. С. 9–174.
5. Технология тонких пленок: справочник. В 2 т. / Пер. с англ. под ред. М. И. Елинсона, Г. Г. Смолко. М.: Советское радио, 1977. Т. 2. С. 578–622.
6. Испаритель для нанесения нихромовых пленок: а. с. 1120706 СССР / Л. И. Гурский, А. П. Жебин, В. А. Зеленин. Заявлено 21.04.1982. Опубликовано 27.09.2013. Бюл. № 27.
7. Структура, топология и свойства пленочных резисторов / Л. И. Гурский [и др.]; под ред. В. А. Лабунова. Минск: Наука и техника, 1987. 264 с.
8. Куликов, И. С. Термическая диссоциация соединений / И. С. Куликов. М.: Металлургия, 1969. 574 с.
9. Зеленин, В. А. Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники / В. А. Зеленин. Минск: Беларуская навука, 2022. 290 с.
10. Гладинов, А. Д. Расчет температур плавления резистивных сплавов систем Co–Cr–Si и Co–Cr–La–Si / А. Д. Гладинов // Литье и металлургия – 2020: сб. науч. работ III Междунар. науч.-практ. интернет-конф. студентов и магистрантов, г. Минск, 18–19 нояб. 2020 г. Минск: Белор. национ. техн. ун-т, 2020. С. 85–87.
11. Зеленин, В. А. Экранирующие свойства покрытий системы Ni–Fe / В. А. Зеленин, Г. В. Марков, Е. О. Нарушко // Современные методы и технологии создания и обработки материалов: сб. науч. тр. Минск: Физ.-техн. ин-т НАН Беларуси, 2014. Кн. 1. Материаловедение. С. 271–280.
Рецензия
Для цитирования:
Зеленин В.А., Нарушко Е.О., Гладинов А.Д. Формирование пленок сплавов систем Cr–Ni, Cr–Ni–Si и Fe–Ni методами сублимации и испарения для изделий электронной техники. Доклады БГУИР. 2023;21(5):5-12. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2023-21-5-5-12
For citation:
Zelenin V.A., Narushko E.O., Gladinov A.D. Formation of Films of Alloys of Cr–Ni, Cr–Ni–Si and Fe–Ni Systems by Sublimation and Evaporation Methods for Electronic Products. Doklady BGUIR. 2023;21(5):5-12. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2023-21-5-5-12
Просмотров: 213
Послать статью по эл. почте 