bsuirДоклады БГУИРDoklady BGUIR1729-76482708-0382БГУИР10.35596/1729-7648-2023-21-5-5-12bsuir-3717Research ArticleЭЛЕКТРОНИКА, РАДИОФИЗИКА, РАДИОТЕХНИКА, ИНФОРМАТИКАELECTRONICS, RADIOPHYSICS, RADIOENGINEERING, INFORMATICSФормирование пленок сплавов систем Cr–Ni, Cr–Ni–Si и Fe–Ni методами сублимации и испарения для изделий электронной техникиFormation of Films of Alloys of Cr–Ni, Cr–Ni–Si and Fe–Ni Systems by Sublimation and Evaporation Methods for Electronic ProductsЗеленинВ. А.ZeleninV. A.

д. т. н., доцент, г. н. с.

г. Минск

Victor A. Zelenin, Dr. of Sci. (Tech.), Professor, Principal Researcher

Minsk

НарушкоЕ. О.NarushkoE. O.

Нарушко Елена Олеговна, к. т. н., инженер-технолог

220114, г. Минск, ул. Академика Высоцкого, 3–26

Тел.: +375 29 345-86-72

Narushko Elena Olegovna, Сand. of Sci., Process Engineer

220114, Minsk, Academician Vysotsky St., 3–26

Tel.: +375 29 345-86-72

lena-narushko@mail.ruГладиновА. Д.GladinovA. D.

м. н. с.

г. Минск

Anton D. Gladinov, Junior Scientific Researcher

Minsk

Физико-технический институт Национальной академии наук БеларусиPhysical-Technical Institute of the National Academy of Sciences of BelarusОАО «Пеленг»Joint-Stock Company “Peleng”ОАО «Оптрон» НАН БеларусиJoint-Stock Company “Optron” of the National Academy of Sciences of Belarus202324102023215512Copyright © Зеленин В.А., Нарушко Е.О., Гладинов А.Д., 20232023Зеленин В.А., Нарушко Е.О., Гладинов А.Д.Zelenin V.A., Narushko E.O., Gladinov A.D.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://doklady.bsuir.by/jour/article/view/3717

Рассмотрены процессы формирования пленок сплавов систем Cr–Ni, Cr–Ni–Si и Fe–Ni стабильного элементного состава методами испарения. Показано, что из-за большой разницы в температурах плавления Ni и Cr пленки нихрома получают методом сублимации. Предложена конструкция испарителя, позволяющая стабилизировать состав пленок. Проведены расчеты азеотропных составов сплавов системы Cr–Ni–Si. Определено положение изобар суммарного давления железа и никеля на диаграмме состояния, при испарении в вакууме. Рассчитан и экспериментально проверен азеотропный состав сплава системы Fe–Ni.

The processes of formation of films of alloys of the Cr–Ni, Cr–Ni–Si and Fe–Ni systems with a stab le elemental composition by evaporation methods are considered. It is shown that due to the large difference in the melting temperatures of Ni and Cr, nichrome films are obtained by sublimation. The design of the evaporator is proposed, which makes it possible to stabilize the composition of the films. Calculations of azeotropic compositions of alloys of the Cr–Ni–Si system have been carried out. The position of the isobars of the total pressure of iron and nickel on the state diagram was determined during evaporation in vacuum. The azeotropic composition of the alloy of the Fe–Ni system was calculated and experimentally verified.

тонкие пленкисплавы систем Cr–NiCr–Ni–Si и Fe–Niсублимацияиспарениеэлементный составдавление паровазеотропные составыthin filmsalloys of the Cr–NiCr–Ni–Si and Fe–Ni systemssublimationevaporationelemental compositionvapor pressureazeotropic compositionsReferencesЗеленин, В. А. Силицидные сплавы азеотропных и эвтектических составов для катодов и мишеней вакуумно-дуговых и магнетронных установок / В. А. Зеленин // Современные методы и технологии создания и обработки материалов: сб. науч. тр. В 2 кн. Минск: Физ.-техн. ин-т НАН Беларуси, 2021. Кн. 1. Новые технологии и материалы. С. 208–223.Zelenin V. A. (2021) Silicide Alloys of Azeotropic and Eutectic Compositions for Cathodes and Targets of Vacuum Arc and Magnetron Installations. Modern Methods and Technologies for the Creation and Processing of Materials: a Collection of Scientific Papers. In 2 Books. Book 1. New Technologies and Materials. Minsk, Physical-Technical Institute of the National Academy of Sciences of Belarus. 208–223 (in Russian).Волочко, А. Т. Многослойные покрытия на элементах компьютера как средство технической защиты информации / А. Т. Волочко, В. А. Зеленин, Е. О. Нарушко // Проблемы информационной безопасности: II Междунар. науч.-практ конф., г. Симферополь, 25–27 февр. 2016 г. Симферополь, 2016. С. 16–19.Volochko A. T., Zelenin V. A., Narushko E. O. (2016) Multilayer Coatings on Computer Elements as a Means of Technical Protection of Information. Problems of Information Security, II International Scientific and Practical Conference, Simferopol, Febr. 25–27, 2016. Simferopol. 16–19 (in Russian).Зеленин, В. А. Получение многокомпонентных покрытий стабильного состава для экранов электромагнитного излучения / В. А. Зеленин, Е. О. Нарушко, А. Д. Гладинов // Доклады БГУИР. 2023. Т. 21, № 4. С. 19–27. http://dx.doi.org/10.35596/1729-7648-2023-21-4-19-27.Zelenin V. A., Narushko E. O., Gladinov A. D. (2023) Obtaining Multicomponent Coatings of a Stable Composition for Electromagnetic Radiation Screens. Doklady BGUIR. 21 (4), 19–27. http://dx.doi.org/10.35596/1729-7648-2023-21-4-19-27 (in Russian).Технология тонких пленок: справочник. В 2 т. / Пер. с англ. под ред. М. И. Елинсона, Г. Г. Смолко. М.: Советское радио, 1977. Т. 1. С. 9–174.Elinson M. I., Smolko G. G. (ed.) (1977) Thin Film Technology: a Handbook. In 2 Vol. Moscow, Soviet Radio Publ. Vol. 1. 9–174 (in Russian).Технология тонких пленок: справочник. В 2 т. / Пер. с англ. под ред. М. И. Елинсона, Г. Г. Смолко. М.: Советское радио, 1977. Т. 2. С. 578–622.Elinson M. I., Smolko G. G. (ed.) (1977) Thin Film Technology: a Handbook. In 2 Vol. Moscow, Soviet Radio Publ. Vol. 2. 578–622 (in Russian).Испаритель для нанесения нихромовых пленок: а. с. 1120706 СССР / Л. И. Гурский, А. П. Жебин, В. А. Зеленин. Заявлено 21.04.1982. Опубликовано 27.09.2013. Бюл. № 27.Gursky L. I., Zhebin A. P., Zelenin V. A. (2013) Evaporator for Applying Nichrome Films. Certificate of Authorship. 1120706 USSR. Claimed 21.04.1982. Published on 27.09.2013. Bulletin No 27.Структура, топология и свойства пленочных резисторов / Л. И. Гурский [и др.]; под ред. В. А. Лабунова. Минск: Наука и техника, 1987. 264 с.Gurskii L. I., Zelenin V. A., Zhebin A. P. et al. (1987) Structure, Topology and Properties of Film Resistors. Minsk, Nauka i Technika Publ. 264 (in Russian).Куликов, И. С. Термическая диссоциация соединений / И. С. Куликов. М.: Металлургия, 1969. 574 с.Kulikov I. S. (1969) Thermal Dissociation of Compounds. Moscow, Metallurgiya Publ. 574 (in Russian).Зеленин, В. А. Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники / В. А. Зеленин. Минск: Беларуская навука, 2022. 290 с.Zelenin V. A. (2022) Highly Stable Elements and Structures for Nanoelectronics Products. Minsk, Belaruskaya Navuka Publ. 290 (in Russian).Гладинов, А. Д. Расчет температур плавления резистивных сплавов систем Co–Cr–Si и Co–Cr–La–Si / А. Д. Гладинов // Литье и металлургия – 2020: сб. науч. работ III Междунар. науч.-практ. интернет-конф. студентов и магистрантов, г. Минск, 18–19 нояб. 2020 г. Минск: Белор. национ. техн. ун-т, 2020. С. 85–87.Gladinov A. D. (2020) Calculation of Melting Temperatures for Co–Cr–Si and Co–Cr–La–Si Resistive Alloy Systems. Casting and Metallurgy – 2020: Collection of Scientific Works of the III International Scientific and Practical Internet-Conference for Students and Master’s Students, Minsk, Nov. 18–19, 2020. Minsk, Belarusian National Technical University Publ. 85–87 (in Russian).Зеленин, В. А. Экранирующие свойства покрытий системы Ni–Fe / В. А. Зеленин, Г. В. Марков, Е. О. Нарушко // Современные методы и технологии создания и обработки материалов: сб. науч. тр. Минск: Физ.-техн. ин-т НАН Беларуси, 2014. Кн. 1. Материаловедение. С. 271–280.Zelenin V. A., Markov G. V., Narushko E. O. (2014) Screening Properties of Coatings of the Ni–Fe System. Modern Methods and Technologies for the Creation and Processing of Materials: Collection of Scientific Works. Minsk, Book 1: Materials Science. 271–280.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.