Preview

Доклады БГУИР

Расширенный поиск

ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ КОНДЕНСАТОРНЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК ТИТАНАТА СТРОНЦИЯ, СФОРМИРОВАННЫХ ЗОЛЬ-ГЕЛЬ МЕТОДОМ

Полный текст:

Аннотация

Сформированы тонкопленочные конденсаторы на подложках кремния. Основу конденсатора составляет многослойная пленка титаната стронция, полученная золь-гель методом при температурах отжига 750-800 °С. Нижний электрод сформирован из платины, верхний - из никеля. Средние значения диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлекрических потерь лежат в пределах 150-190 и 0,06-0,1 соответственно. Приведены значения среднеквадратического отклонения указанных величин

Об авторах

А. Х. Сохраби
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


Н. В. Гапоненко
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


М. В. Руденко
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


С. М. Завадский
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


Д. А. Голосов
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


А. Ф. Гук
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь


В. В. Колос
ОАО «Интеграл»
Беларусь


А. Н. Петлицкий
ОАО «Интеграл»
Беларусь


А. С. Турцевич
ОАО «Интеграл»
Беларусь


Список литературы

1. Fuentes S., Zarate R.A., Chavez E. et. al. // J. Mater. Sci. 2010. Vol. 45. P. 1448-1452.

2. Hofman W., Hoffmann S., Waster R. // Thin Solid Films. 1997. Vol. 305 P. 66-73.

3. Pontes F.M., Lee E.J.H., Leite E.R. et. al. // J. Mater. Sci. 2000.Vol. 35. P. 4783-4787.

4. Sohrabi Anaraki H., Gaponenko N.V., Rudenko M.V. et. al. // Докл. БГУИР. 2013. № 8 (78). С. 10-15.

5. Gaponenko N.V., Kortov V.S., Rudenko M.V. et. al. // J. of Applied Physics. 2012. Vol. 111. P. 103101-103107.


Для цитирования:


Сохраби А.Х., Гапоненко Н.В., Руденко М.В., Завадский С.М., Голосов Д.А., Гук А.Ф., Колос В.В., Петлицкий А.Н., Турцевич А.С. ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ КОНДЕНСАТОРНЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК ТИТАНАТА СТРОНЦИЯ, СФОРМИРОВАННЫХ ЗОЛЬ-ГЕЛЬ МЕТОДОМ. Доклады БГУИР. 2014;(7):28-31.

For citation:


Sohrabi A.H., Gaponenko N.V., Rudenko M.V., Zavadski S.M., Golosov D.A., Guk A.F., Kolos V.V., Pyatlitski A.N., Turtsevich A.S. DIELECTRICAL CHARACTERISTICS OF CAPACITOR STRUCTURES ON THE BASIS OF SOL-GEL DERIVED STRONTIUM TITANATE FILMS. Doklady BGUIR. 2014;(7):28-31. (In Russ.)

Просмотров: 32


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1729-7648 (Print)