ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ КОНДЕНСАТОРНЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК ТИТАНАТА СТРОНЦИЯ, СФОРМИРОВАННЫХ ЗОЛЬ-ГЕЛЬ МЕТОДОМ
Аннотация
Сформированы тонкопленочные конденсаторы на подложках кремния. Основу конденсатора составляет многослойная пленка титаната стронция, полученная золь-гель методом при температурах отжига 750-800 °С. Нижний электрод сформирован из платины, верхний - из никеля. Средние значения диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлекрических потерь лежат в пределах 150-190 и 0,06-0,1 соответственно. Приведены значения среднеквадратического отклонения указанных величин
Об авторах
А. Х. Сохраби
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Н. В. Гапоненко
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
М. В. Руденко
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
С. М. Завадский
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Д. А. Голосов
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
А. Ф. Гук
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
В. В. Колос
ОАО «Интеграл»
Беларусь
Беларусь
А. Н. Петлицкий
ОАО «Интеграл»
Беларусь
Беларусь
А. С. Турцевич
ОАО «Интеграл»
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Fuentes S., Zarate R.A., Chavez E. et. al. // J. Mater. Sci. 2010. Vol. 45. P. 1448-1452.
2. Hofman W., Hoffmann S., Waster R. // Thin Solid Films. 1997. Vol. 305 P. 66-73.
3. Pontes F.M., Lee E.J.H., Leite E.R. et. al. // J. Mater. Sci. 2000.Vol. 35. P. 4783-4787.
4. Sohrabi Anaraki H., Gaponenko N.V., Rudenko M.V. et. al. // Докл. БГУИР. 2013. № 8 (78). С. 10-15.
5. Gaponenko N.V., Kortov V.S., Rudenko M.V. et. al. // J. of Applied Physics. 2012. Vol. 111. P. 103101-103107.
Рецензия
Для цитирования:
Сохраби А.Х., Гапоненко Н.В., Руденко М.В., Завадский С.М., Голосов Д.А., Гук А.Ф., Колос В.В., Петлицкий А.Н., Турцевич А.С. ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ КОНДЕНСАТОРНЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК ТИТАНАТА СТРОНЦИЯ, СФОРМИРОВАННЫХ ЗОЛЬ-ГЕЛЬ МЕТОДОМ. Доклады БГУИР. 2014;(7):28-31.
For citation:
Sohrabi A.H., Gaponenko N.V., Rudenko M.V., Zavadski S.M., Golosov D.A., Guk A.F., Kolos V.V., Pyatlitski A.N., Turtsevich A.S. DIELECTRICAL CHARACTERISTICS OF CAPACITOR STRUCTURES ON THE BASIS OF SOL-GEL DERIVED STRONTIUM TITANATE FILMS. Doklady BGUIR. 2014;(7):28-31. (In Russ.)
Просмотров: 1516
Послать статью по эл. почте 