bsuirДоклады БГУИРDoklady BGUIR1729-76482708-0382БГУИРbsuir-371Research ArticleСтатьиДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ КОНДЕНСАТОРНЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК ТИТАНАТА СТРОНЦИЯ, СФОРМИРОВАННЫХ ЗОЛЬ-ГЕЛЬ МЕТОДОМDIELECTRICAL CHARACTERISTICS OF CAPACITOR STRUCTURES ON THE BASIS OF SOL-GEL DERIVED STRONTIUM TITANATE FILMSСохрабиА. Х.SohrabiA. H.noemail@neicon.ruГапоненкоН. В.GaponenkoN. V.noemail@neicon.ruРуденкоМ. В.RudenkoM. V.noemail@neicon.ruЗавадскийС. М.ZavadskiS. M.noemail@neicon.ruГолосовД. А.GolosovD. A.noemail@neicon.ruГукА. Ф.GukA. F.noemail@neicon.ruКолосВ. В.KolosV. V.noemail@neicon.ruПетлицкийА. Н.PyatlitskiA. N.noemail@neicon.ruТурцевичА. С.TurtsevichA. S.noemail@neicon.ruБелорусский государственный университет информатики и радиоэлектроникиBelarusОАО «Интеграл»Belarus201403062019072831Copyright © Сохраби А.Х., Гапоненко Н.В., Руденко М.В., Завадский С.М., Голосов Д.А., Гук А.Ф., Колос В.В., Петлицкий А.Н., Турцевич А.С., 20192019Сохраби А.Х., Гапоненко Н.В., Руденко М.В., Завадский С.М., Голосов Д.А., Гук А.Ф., Колос В.В., Петлицкий А.Н., Турцевич А.С.Sohrabi A.H., Gaponenko N.V., Rudenko M.V., Zavadski S.M., Golosov D.A., Guk A.F., Kolos V.V., Pyatlitski A.N., Turtsevich A.S.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://doklady.bsuir.by/jour/article/view/371

Сформированы тонкопленочные конденсаторы на подложках кремния. Основу конденсатора составляет многослойная пленка титаната стронция, полученная золь-гель методом при температурах отжига 750-800 °С. Нижний электрод сформирован из платины, верхний - из никеля. Средние значения диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлекрических потерь лежат в пределах 150-190 и 0,06-0,1 соответственно. Приведены значения среднеквадратического отклонения указанных величин

The thin film capacitors were formed on silicon. The capacitor is based on the strontium titanate multi-layer which was fabricated using the sol-gel method after heat treatment at the temperature 750 or 800 °C. The lower and upper electrodes were made from platinum and nickel accordingly. The average values of the dielectric permittivity, ε, and the loss factor, tg δ, were found between 150-190 and 0,06-0,1 respectively. The standard deviation values of the mentioned characteristics were calculated.

золь-гельтитанат стронцияконденсаторReferencesFuentes S., Zarate R.A., Chavez E. et. al. // J. Mater. Sci. 2010. Vol. 45. P. 1448-1452.Fuentes S., Zarate R.A., Chavez E. et. al. // J. Mater. Sci. 2010. Vol. 45. P. 1448-1452.Hofman W., Hoffmann S., Waster R. // Thin Solid Films. 1997. Vol. 305 P. 66-73.Hofman W., Hoffmann S., Waster R. // Thin Solid Films. 1997. Vol. 305 P. 66-73.Pontes F.M., Lee E.J.H., Leite E.R. et. al. // J. Mater. Sci. 2000.Vol. 35. P. 4783-4787.Pontes F.M., Lee E.J.H., Leite E.R. et. al. // J. Mater. Sci. 2000.Vol. 35. P. 4783-4787.Sohrabi Anaraki H., Gaponenko N.V., Rudenko M.V. et. al. // Докл. БГУИР. 2013. № 8 (78). С. 10-15.Sohrabi Anaraki H., Gaponenko N.V., Rudenko M.V. et. al. // Докл. БГУИР. 2013. № 8 (78). С. 10-15.Gaponenko N.V., Kortov V.S., Rudenko M.V. et. al. // J. of Applied Physics. 2012. Vol. 111. P. 103101-103107.Gaponenko N.V., Kortov V.S., Rudenko M.V. et. al. // J. of Applied Physics. 2012. Vol. 111. P. 103101-103107.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.