ВЛИЯНИЕ ТЕРМООБРАБОТКИ НА СТРУКТУРУ И СОСТАВ ПОРИСТЫХ ПЛЕНОК АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ, СФОРМИРОВАННЫХ ПРИ РАЗЛИЧНЫХ НАПРЯЖЕНИЯХ ФОРМОВКИ
Аннотация
Представлены результаты исследования электрохимического анодирования алюминиевой фольги и тонких алюминиевых пленок, осажденных на кремниевые пластины, в 2 % водном растворе серной кислоты при различных напряжениях формовки. Показано, что термообработка при температурах 450 °С и 950 °С увеличивает пористость пленки анодного оксида алюминия и приводит к снижению значения коэффициента увеличения объема. Также установлено, что встраивание компонентов электролита в анодный оксид при анодировании в растворах серной кислоты интенсифицируется с ростом напряжения формовки.
Об авторах
Д. А. Сасинович
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
В. Б. Высоцкий
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
С. К. Лазарук
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Masuda H., Ohya M., Asoh H. et al. // Jpn. J. Appl. Phys. 1999. Vol. 38. No 12A. P. L1403-L1405.
2. Лазарук С.К., Лешок А.А., Лабунов В.А. и др. // Физика и техника полупроводников. 2005. Т. 39. Вып. 1. С. 149-152.
3. Lazarouk S., Muravski A., Sasinovich D. et al. // Jpn. J. Appl. Phys. 2007. Vol. 46. № 10A. P. 6889-6892.
4. Lazarouk S.K., Sasinovich D.A., Borisenko V.E. et al. // J. Appl. Phys. 2010. Vol. 107. P. 033527-1-4.
Рецензия
Для цитирования:
Сасинович Д.А., Высоцкий В.Б., Лазарук С.К. ВЛИЯНИЕ ТЕРМООБРАБОТКИ НА СТРУКТУРУ И СОСТАВ ПОРИСТЫХ ПЛЕНОК АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ, СФОРМИРОВАННЫХ ПРИ РАЗЛИЧНЫХ НАПРЯЖЕНИЯХ ФОРМОВКИ. Доклады БГУИР. 2014;(7):5-8.
For citation:
Sasinovich D.A., Visotskiy V.B., Lazarouk S.K. TERMAL TREATMENT IMPACT ON STRUCTURE AND COMPOSITION OF POROUS ALUMINA FILMS FORMED AT DIFFERENT VALUES OF FORMING VOLTAGE. Doklady BGUIR. 2014;(7):5-8. (In Russ.)
Просмотров: 1496
Послать статью по эл. почте 