Представлены результаты исследования электрохимического анодирования алюминиевой фольги и тонких алюминиевых пленок, осажденных на кремниевые пластины, в 2 % водном растворе серной кислоты при различных напряжениях формовки. Показано, что термообработка при температурах 450 °С и 950 °С увеличивает пористость пленки анодного оксида алюминия и приводит к снижению значения коэффициента увеличения объема. Также установлено, что встраивание компонентов электролита в анодный оксид при анодировании в растворах серной кислоты интенсифицируется с ростом напряжения формовки.
A fabrication of porous alumina films by electrochemical anodization of aluminium foils and aluminium films deposited on silicon wafers is presented. Anodization process was held in the 2 % sulphuric acid aqueous solution at different forming voltages. It was shown that thermal treatment at 450 °С and 950 °С leads to increase of anodic alumina film porosity and decrease of volume expansion factor. It was also defined that embedding of electrolyte components in anodic alumina during anodization in sulphuric acid solutions intensifies with the increase of forming voltage value.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.