Для цитирования:

Лобанок М.В., Гайдук П.И. Температурная зависимость роста 3C-SiC при быстрой вакуумно-термической обработке кремния. Доклады БГУИР. 2023;21(4):12-18. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2023-21-4-12-18

For citation:

Labanok M.V., Gaiduk P.I. Temperature Dependence of 3С-SiC Growth During Rapid Vacuum Thermal Silicon Treatment. Doklady BGUIR. 2023;21(4):12-18. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2023-21-4-12-18