Preview

Доклады БГУИР

Расширенный поиск

Конструкция и характеристики неохлаждаемых болометрических инфракрасных решеток на основе аморфного кремния

https://doi.org/10.35596/1729-7648-2023-21-2-77-85

Полный текст:

Аннотация

Неохлаждаемые тепловые детекторы болометрического типа, объединенные в матрицу, размещенную в фокальной плоскости, в последнее время активно применяются в инфракрасном или терагерцовом поле обнаружения, поскольку обладают низкой стоимостью и высокой эффективностью обнаружения, совместимы с кремниевой КМОП-технологией, а также работают при комнатной температуре. Характеристики таких детекторов зависят от оптимизации критических параметров, которые определяются геометрической конструкцией, электрическими, оптическими и тепловыми свойствами применяемых материалов. В статье рассмотрены эксплуатационные характеристики пикселей двумерных массивов неохлаждаемых микроболометров на основе термочувствительных пленок аморфного кремния. Поскольку эти массивы значительно уменьшают размер сенсора, они становятся предпочтительным форматом для большинства современных приложений. 

Для цитирования:


Чан В., Стемпицкий В.Р., Ловшенко И.Ю., Корсак К.В., Дао Д. Конструкция и характеристики неохлаждаемых болометрических инфракрасных решеток на основе аморфного кремния. Доклады БГУИР. 2023;21(2):77-85. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2023-21-2-77-85

For citation:


Tran V., Stempitsky V.R., Lovshenko I.Yu., Korsak K.V., Dao D. Design and Performance of Amorphous Silicon Based on Uncooled Bolometer-Type Infrared Focal Plane Arrays. Doklady BGUIR. 2023;21(2):77-85. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2023-21-2-77-85

Просмотров: 642


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1729-7648 (Print)
ISSN 2708-0382 (Online)