Для цитирования:

Юник А.Д., Соловьев Я.А., Жигулин Д.В. Влияние температуры быстрого термического отжига на электрофизические свойства омического контакта металлизации Ti/Al/Ni к гетероструктуре GaN/AlGaN. Доклады БГУИР. 2022;20(3):13-19. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2022-20-3-13-19

For citation:

Yunik A.D., Solovjov J.A., Zhyhulin D.V. Effect of Rapid Thermal Annealing Temperature on the Electrophysical Properties of the Ohmic Contact of Ti/Al/Ni Metallization to the GaN/AlGaN Heterostructure. Doklady BGUIR. 2022;20(3):13-19. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2022-20-3-13-19