PHOTOLITHOGRAPHY OF FILM STRUCTURES XEROGEL/POROUS ANODIC ALUMINA PREPARED IN VARIOUS ELECTROLYTES
Abstract
The results of study the morphology of the microstructured porous anodic alumina films formed using electrochemical anodization, sol-gel synthesis, photolithography and chemical etching are given. The metal mask was not used in photolithography, because of fabrication the continuous xerogel film. The perspective of application of these structures in planar optoelectronics and photocatalyses are discussed.
About the Authors
L. S. Khoroshko
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Belarus
Belarus
A. M. Asharif
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Belarus
Belarus
T. I. Orekhovskaya
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Belarus
Belarus
M. V. Meledina
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Belarus
Belarus
V. A. Sokol
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Belarus
Belarus
B. S. Kolosnitsin
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Belarus
Belarus
N. V. Gaponenko
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Belarus
Belarus
References
1. Лыньков Л.М., Мухуров Н.И. Микроструктуры на основе анодной алюмооксидной технологии. Минск, 2002.
2. Сокол В.А. Анодные оксиды алюминия: монография. Минск, 2011.
3. Гапоненко Н.В. Пленки, сформированные золь-гель методом на полупроводниках и в мезопористых матрицах. Минск, 2003.
4. Хорошко Л.С., Ашариф А.М., Меледина М.В. и др. // Матер. 50 МНТК БГУИР. Ч. 2. Минск, 18-19 марта 2014 г. C. 28-29.
5. Khoroshko L., Nikolaenko I., Asharif A. et al. // Proceedings of the International conference «Nanomeeting-2013», Minsk. May 28-31 2013. P. 503-505.
Review
For citations:
Khoroshko L.S., Asharif A.M., Orekhovskaya T.I., Meledina M.V., Sokol V.A., Kolosnitsin B.S., Gaponenko N.V. PHOTOLITHOGRAPHY OF FILM STRUCTURES XEROGEL/POROUS ANODIC ALUMINA PREPARED IN VARIOUS ELECTROLYTES. Doklady BGUIR. 2014;(3):101-105. (In Russ.)
Views: 464
Email this article 