ФОТОЛИТОГРАФИЯ НА ПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУРАХ КСЕРОГЕЛЬ/ПОРИСТЫЙ АНОДНЫЙ ОКСИД АЛЮМИНИЯ, СФОРМИРОВАННЫХ В РАЗЛИЧНЫХ ЭЛЕКТРОЛИТАХ
Аннотация
Приведены результаты исследования морфологии микроструктурированных пленок пористого анодного оксида алюминия, сформированных с применением электрохимического анодирования, золь-гель синтеза, фотолитографии и химического травления. Для выполнения фотолитографии защитная металлическая маска не использовалась за счет формирования сплошной пленки ксерогеля. Обсуждаются перспективы применения таких структур в планарной оптоэлектронике и фотокатализе.
Об авторах
Л. С. Хорошко
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
А. М. Ашариф
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Т. И. Ореховская
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
М. В. Меледина
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
В. А. Сокол
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Б. С. Колосницын
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Н. В. Гапоненко
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Лыньков Л.М., Мухуров Н.И. Микроструктуры на основе анодной алюмооксидной технологии. Минск, 2002.
2. Сокол В.А. Анодные оксиды алюминия: монография. Минск, 2011.
3. Гапоненко Н.В. Пленки, сформированные золь-гель методом на полупроводниках и в мезопористых матрицах. Минск, 2003.
4. Хорошко Л.С., Ашариф А.М., Меледина М.В. и др. // Матер. 50 МНТК БГУИР. Ч. 2. Минск, 18-19 марта 2014 г. C. 28-29.
5. Khoroshko L., Nikolaenko I., Asharif A. et al. // Proceedings of the International conference «Nanomeeting-2013», Minsk. May 28-31 2013. P. 503-505.
Рецензия
Для цитирования:
Хорошко Л.С., Ашариф А.М., Ореховская Т.И., Меледина М.В., Сокол В.А., Колосницын Б.С., Гапоненко Н.В. ФОТОЛИТОГРАФИЯ НА ПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУРАХ КСЕРОГЕЛЬ/ПОРИСТЫЙ АНОДНЫЙ ОКСИД АЛЮМИНИЯ, СФОРМИРОВАННЫХ В РАЗЛИЧНЫХ ЭЛЕКТРОЛИТАХ. Доклады БГУИР. 2014;(3):101-105.
For citation:
Khoroshko L.S., Asharif A.M., Orekhovskaya T.I., Meledina M.V., Sokol V.A., Kolosnitsin B.S., Gaponenko N.V. PHOTOLITHOGRAPHY OF FILM STRUCTURES XEROGEL/POROUS ANODIC ALUMINA PREPARED IN VARIOUS ELECTROLYTES. Doklady BGUIR. 2014;(3):101-105. (In Russ.)
Просмотров: 392
Послать статью по эл. почте 