ПОЛУЧЕНИЕ РАВНОМЕРНЫХ ПО ТОЛЩИНЕ ВАКУУМНЫХ МЕТАЛЛОДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ НА КРУПНОГАБАРИТНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЯХ, ДИАМЕТР КОТОРЫХ СОИЗМЕРИМ С ДИАМЕТРОМ ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ
Abstract
Предложен способ получения равномерных по толщине вакуумных металлодиэлектрических покрытий на крупногабаритных оптических деталях с помощью вращающейся корректирующей маски.
About the Authors
Н. Касинский
РУП «Оптическое станкостроение и вакуумная техника»
Belarus
Belarus
В. Томаль
РУП «Оптическое станкостроение и вакуумная техника»
Belarus
Belarus
Т. Демидович
РУП «Оптическое станкостроение и вакуумная техника»
Belarus
Belarus
Я. Петлицкая
РУП «Оптическое станкостроение и вакуумная техника»
Belarus
Belarus
References
1. Холлэнд О. Нанесение тонких пленок в вакууме. М.,1963.
2. Окатова М.А. Справочник технолога-оптика. СПб., 2004.
3. Трофимова Ж.П., Холодов В.М., Демидович Т.И. и др. // Оптико-механическая промышленность. 1987. №6. С. 30.
4. Усоскин А.И. // Оптико-механическая промышленность. 1984. №8. С. 33.
Review
For citations:
, , , . Doklady BGUIR. 2012;(3):63-66. (In Russ.)
Views: 1346
Email this article 