bsuirДоклады БГУИРDoklady BGUIR1729-76482708-0382БГУИРbsuir-29Research ArticleСтатьиПОЛУЧЕНИЕ РАВНОМЕРНЫХ ПО ТОЛЩИНЕ ВАКУУМНЫХ МЕТАЛЛОДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ НА КРУПНОГАБАРИТНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЯХ, ДИАМЕТР КОТОРЫХ СОИЗМЕРИМ С ДИАМЕТРОМ ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫКасинскийН. К.noemail@neicon.ruТомальВ. С.noemail@neicon.ruДемидовичТ. И.noemail@neicon.ruПетлицкаяЯ. В.noemail@neicon.ruРУП «Оптическое станкостроение и вакуумная техника»Belarus201203062019036366Copyright © Касинский Н.К., Томаль В.С., Демидович Т.И., Петлицкая Я.В., 20192019Касинский Н.К., Томаль В.С., Демидович Т.И., Петлицкая Я.В.Касинский Н.К., Томаль В.С., Демидович Т.И., Петлицкая Я.В.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://doklady.bsuir.by/jour/article/view/29
Предложен способ получения равномерных по толщине вакуумных металлодиэлектрических покрытий на крупногабаритных оптических деталях с помощью вращающейся корректирующей маски.
приемная поверхностьвакуумные покрытиякорректирующая маскаравномерность по толщинеReferencesХоллэнд О. Нанесение тонких пленок в вакууме. М.,1963.Холлэнд О. Нанесение тонких пленок в вакууме. М.,1963.Окатова М.А. Справочник технолога-оптика. СПб., 2004.Окатова М.А. Справочник технолога-оптика. СПб., 2004.Трофимова Ж.П., Холодов В.М., Демидович Т.И. и др. // Оптико-механическая промышленность. 1987. №6. С. 30.Трофимова Ж.П., Холодов В.М., Демидович Т.И. и др. // Оптико-механическая промышленность. 1987. №6. С. 30.Усоскин А.И. // Оптико-механическая промышленность. 1984. №8. С. 33.Усоскин А.И. // Оптико-механическая промышленность. 1984. №8. С. 33.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.