ПОЛУЧЕНИЕ РАВНОМЕРНЫХ ПО ТОЛЩИНЕ ВАКУУМНЫХ МЕТАЛЛОДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ НА КРУПНОГАБАРИТНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЯХ, ДИАМЕТР КОТОРЫХ СОИЗМЕРИМ С ДИАМЕТРОМ ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ
Аннотация
Предложен способ получения равномерных по толщине вакуумных металлодиэлектрических покрытий на крупногабаритных оптических деталях с помощью вращающейся корректирующей маски.
Ключевые слова
Об авторах
Н. К. Касинский
РУП «Оптическое станкостроение и вакуумная техника»
Беларусь
Беларусь
В. С. Томаль
РУП «Оптическое станкостроение и вакуумная техника»
Беларусь
Беларусь
Т. И. Демидович
РУП «Оптическое станкостроение и вакуумная техника»
Беларусь
Беларусь
Я. В. Петлицкая
РУП «Оптическое станкостроение и вакуумная техника»
Беларусь
Беларусь
Список литературы
1. Холлэнд О. Нанесение тонких пленок в вакууме. М.,1963.
2. Окатова М.А. Справочник технолога-оптика. СПб., 2004.
3. Трофимова Ж.П., Холодов В.М., Демидович Т.И. и др. // Оптико-механическая промышленность. 1987. №6. С. 30.
4. Усоскин А.И. // Оптико-механическая промышленность. 1984. №8. С. 33.
Рецензия
Для цитирования:
Касинский Н.К., Томаль В.С., Демидович Т.И., Петлицкая Я.В. ПОЛУЧЕНИЕ РАВНОМЕРНЫХ ПО ТОЛЩИНЕ ВАКУУМНЫХ МЕТАЛЛОДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ НА КРУПНОГАБАРИТНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЯХ, ДИАМЕТР КОТОРЫХ СОИЗМЕРИМ С ДИАМЕТРОМ ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ. Доклады БГУИР. 2012;(3):63-66.
Просмотров: 1337
Послать статью по эл. почте 