ОБЪЕМНО-ПЛАНАРНЫЙ КОНСТРУКТИВНЫЙ ВАРИАНТ МИКРОДАТЧИКА ОТНОСИТЕЛЬНОЙ ВЛАЖНОСТИ НА НАНОПОРИСТОМ ОКСИДЕ АЛЮМИНИЯ
Abstract
Рассматривается объемно-планарный вариант конструктивного построения и создания миниатюрного емкостного микродатчика относительной влажности на основе нанопористых подложек из анодного оксида алюминия.
References
1. [Электронный ресурс] Режим доступа: http://www.iceweb.com.au/Analyzer/humidity_sensors.html.
2. Zhi Chen, Chi Lu. // Sensor Letters. 2005. Vol. 3. Р. 274-295.
3. [Электронный ресурс] Режим доступа: http://www.alibaba.com/product-gs/467248864/analog_humidity_sensor.html
4. Timar-Horvath V., Juhasz L., Vass-Varnai A. et al. // DTIP of MEMS & MOEMS. Italy. 25-27. 2007.
5. Yao L., Zheng M., Li H. et al. // Nanotechnology. 2009. Vol. 20, №39. P. 395501.
6. Ling Zh.Yu, Chen Sh.Sh., Wang J.Ch. et al. // Chinese Science Bulletin. 2008. Vol. 53, №2. P. 183-187.
7. Белоус А.И., Мухуров Н.И., Дрозд С.Е. и др. // Докл. БГУИР. 2010. №4(50). С. 42-47.
Review
For citations:
. Doklady BGUIR. 2012;(2):66-70. (In Russ.)
Views:
6142
Email this article 