bsuirДоклады БГУИРDoklady BGUIR1729-76482708-0382БГУИРbsuir-13Research ArticleСтатьиОБЪЕМНО-ПЛАНАРНЫЙ КОНСТРУКТИВНЫЙ ВАРИАНТ МИКРОДАТЧИКА ОТНОСИТЕЛЬНОЙ ВЛАЖНОСТИ НА НАНОПОРИСТОМ ОКСИДЕ АЛЮМИНИЯМухуровН. И.noemail@neicon.ruИнститут физики НАН БеларусиBelarus201203062019026670Copyright © Мухуров Н.И., 20192019Мухуров Н.И.Мухуров Н.И.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://doklady.bsuir.by/jour/article/view/13

Рассматривается объемно-планарный вариант конструктивного построения и создания миниатюрного емкостного микродатчика относительной влажности на основе нанопористых подложек из анодного оксида алюминия.

микродатчик относительной влажностиобъемно-планарная конструкцияанодный оксид алюминияхарактеристикиReferences[Электронный ресурс] Режим доступа: http://www.iceweb.com.au/Analyzer/humidity_sensors.html.[Электронный ресурс] Режим доступа: http://www.iceweb.com.au/Analyzer/humidity_sensors.html.Zhi Chen, Chi Lu. // Sensor Letters. 2005. Vol. 3. Р. 274-295.Zhi Chen, Chi Lu. // Sensor Letters. 2005. Vol. 3. Р. 274-295.[Электронный ресурс] Режим доступа: http://www.alibaba.com/product-gs/467248864/analog_humidity_sensor.html[Электронный ресурс] Режим доступа: http://www.alibaba.com/product-gs/467248864/analog_humidity_sensor.htmlTimar-Horvath V., Juhasz L., Vass-Varnai A. et al. // DTIP of MEMS & MOEMS. Italy. 25-27. 2007.Timar-Horvath V., Juhasz L., Vass-Varnai A. et al. // DTIP of MEMS & MOEMS. Italy. 25-27. 2007.Yao L., Zheng M., Li H. et al. // Nanotechnology. 2009. Vol. 20, №39. P. 395501.Yao L., Zheng M., Li H. et al. // Nanotechnology. 2009. Vol. 20, №39. P. 395501.Ling Zh.Yu, Chen Sh.Sh., Wang J.Ch. et al. // Chinese Science Bulletin. 2008. Vol. 53, №2. P. 183-187.Ling Zh.Yu, Chen Sh.Sh., Wang J.Ch. et al. // Chinese Science Bulletin. 2008. Vol. 53, №2. P. 183-187.Белоус А.И., Мухуров Н.И., Дрозд С.Е. и др. // Докл. БГУИР. 2010. №4(50). С. 42-47.Белоус А.И., Мухуров Н.И., Дрозд С.Е. и др. // Докл. БГУИР. 2010. №4(50). С. 42-47.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.