Влияние поверхностного потенциала анодных алюмооксидных пленок на их зарядовые свойства
Аннотация
Представлены результаты исследования поверхностного потенциала анодных алюмооксидных пленок и их зарядовых свойств. Показано, что поверхностный потенциал анодных алюмооксидных пленок сразу после окончания анодного процесса имеет положительное значение, но с течением времени этот потенциал уменьшается до нулевого уровня с последующим переходом в область отрицательных значений. Установлено, что отрицательное смещение поверхностного потенциала связано с отрицательным встроенным электрическим зарядом анодного оксида алюминия. Предложен механизм перехода от положительного встроенного электрического заряда к отрицательному внутри анодных оксидов. Установлено, что наибольшая плотность отрицательного заряда наблюдается в пленках, сформированных в электролитах на основе водных растворов лимонной и ортофосфорной кислот.
Об авторах
Ле Динь Ви
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Доктор физико-математических наук, профессор, заведующий НИЛ 4.12 НИЧ.
20013, Минск, ул. П. Бровки, 6
О. В. Купреева
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Научный сотрудник НИЛ 4.12 НИЧ.
20013, Минск, ул. П. Бровки, 6
В. В. Дудич
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Магистрант кафедры микро-и наноэлектроники.
20013, Минск, ул. П. Бровки, 6
В. А. Филипеня
Научно-технический центр «БМА» филиала «Белмикросистемы», ОАО Интеграл
Беларусь
Беларусь
Ведущий инженер
С. К. Лазарук
Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Беларусь
Беларусь
Доктор физико-математических наук, профессор, заведующий НИЛ 4.12 НИЧ.
20013, Минск, ул. П. Бровки, 6
Список литературы
1. Nanoporous alumina as templates for multifunctional applications / C.T. Sousa [et al.] // Applied Physics Reviews. 2014. Vol. 1, No. 031102. P. 1-22.
2. Effect of flattened surface morphology of anodized aluminum oxide templates on the magnetic properties of nanoporous Co/Pt and Co/Pd thin multilayered films / T.N. Anh Nguyen [et al.] // Appl. Surf. Sci. 2018. Vol. 427. P. 649-655.
3. Курносов А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных схем. М.: Высш. школа, 1979. 367 с.
4. Formation and disruption of current paths of anodic porous alumina films by conducting atomic force microscopy / K. Oyoshi [et al.] // Applied Surface Science. 2010. Vol. 257. P. 837-841.
5. Structural analysis of anodic porous alumina used for resistive random access memory / Jeungwoo Lee [et al.] // Science and Technology of Advanced Material. 2010. Vol. 11. No. 025002.
6. Formation of an Array of Memristor Structures Using a Self-Assembly Matrix of Porous Anodic Aluminum Oxide / A.N. Belov [et al.] // Nanotechnologies in Russia. 2018. Vol. 13. P. 34-37.
7. Зи С. Физика полупроводниковых приборов: в 2-х кн. Кн. 1. М.: Мир, 1984. 456 с.
8. Stored charge and its influence on properties of anodic alumina films / I. Vrublevsky [et al.] // Current Nanoscience. 2018. Vol. 14. P. 1-10.
Для цитирования:
Ви Л., Купреева О.В., Дудич В.В., Филипеня В.А., Лазарук С.К. Влияние поверхностного потенциала анодных алюмооксидных пленок на их зарядовые свойства. Доклады БГУИР. 2019;(5):72-78. https://doi.org/10.35596/1729-7648-2019-123-5-72-78
For citation:
Vi L., Kupreeva O.V., Dudich V.V., Filipenya V.A., Lazarouk S.K. Effect of surface potential of anodic alumina film on their charge properties. Doklady BGUIR. 2019;(5):72-78. (In Russ.) https://doi.org/10.35596/1729-7648-2019-123-5-72-78
Просмотров: 258
Послать статью по эл. почте 